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3-26 3 7 워밍 업 운 전을 합니다 . 1 . 깔 아둔 사 각건 을 제거 합니다 . 2. 장비의 커 버를 닫 고 , 대차를 사용하 고 있 을 경 우 세 팅 한 후 , 비상정 지를 해 제 합니다 . e 3. 워 밍업 화 면 을 표시 해서 8 분 정 도 워 밍업 합 니 다 . 정지 후 , 비 상정지 버튼을 누르고 가 이 드 및 가이드 단면에 고 인 구리 스를 닦습니 다 . c 주의 구리스 …
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3
8
리니어 스케일부를 청소합니다 .
종이 와이퍼 등으로 닦아 주십시오 .
더러움이 심할 경우는 , IPA 를 적신 와이퍼로
우측 그림과 같이 일정방향으로 닦은 후에 종이
와이퍼로 닦아 주십시오 .
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c
주의
리니어 스케일부를 청소할 때에는 , 너무 세게 닦지 마십시오 .
참고
X 축 리니어 스케일은 2 빔 사양만입니다 .
2.2.3 Y 축 가이드의 청소
•
급유 , 리니어 스케일의 청소 (2 빔 )
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내리고 , 탈착합니다 .
4. 사각건을 푸쉬업 플레이트 위에 깔아 둡니다 .
2
가이드를 청소합니다 .
1. Y 축을 한쪽으로 이동시키고 , 가이드 전체를
먼지가 나지 않는 종이 와이퍼 ( 크린룸 용 ) 등
으로 닦습니다 .
2. 그 다음에 , 축을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반
대쪽의 가이드도 닦습니다 .
3
구리스를 주입합니다 .
구리스 건 ( 표준타입 ) 을 사용해서 , Y 축 가이드
용 구리스 니플 ( 합계 4 군데 ) 로부터 지정 구리스
(NSL) 를 주입합니다 .
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4
구리스를 스며들게 합니다 .
손으로 Y 축을 수차례 전후로 움직여서 , 구리스가
가이드에 스며들게 합니다 .
n
요점
축이 움직이면 니플로부터 주입한 구리스가 가이드부에 스며
나옵니다 .
5
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
가이드 양단부의 여분의 구리스를 닦습니다 .
6
재차 구리스를 주입합니다 .
Step3~5 의 작업을 추가로 두차례 반복해 주십시
오 . 구리스가 가이드 전체에 도포되어 있는지를
육안으로 확인합니다 .
구리스의 주입
Step 3
상부 가이드용 구리스 니플
하부 가이드용 구리스 니플
Step 8
리니어 스케일의 청소
와이퍼
리니어 스케일 (일정 방향으로 닦는다)
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3
7
워밍업 운전을 합니다 .
1. 깔아둔 사각건을 제거합니다 .
2. 장비의 커버를 닫고 , 대차를 사용하고 있을 경
우 세팅한 후 , 비상정지를 해제합니다 .
e
3. 워밍업 화면을 표시해서 8 분정도 워밍업합니
다 . 정지 후 , 비상정지 버튼을 누르고 가이드
및 가이드 단면에 고인 구리스를 닦습니다 .
c
주의
구리스 고임이 없어질 때까지 Step7 을 반복해 주십시오 .
구리스의 고임이 남아있는 채로 생산을 하면 구리스가 튀어 날릴
경우가 있으므로 주의해 주십시오 .
8
리니어 스케일부를 청소합니다 .
1. 와이퍼에 IPA 를 적셔서 , 우측의 그림과 같이
가로 방향으로 닦은 후에 종이 와이퍼로 닦아
주십시오 .
2. 와이퍼에 IPA 를 적셔서 , 원점마크 부근을
세로 방향으로 왕복 3 번이상 닦은 후에 종이
와이퍼로 닦아 주십시오 .
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c
주의
리니어 스케일부를 청소할 때에는 , 너무 세게 닦지 마십시오 .
리니어 스케일의 청소
Step 8
와이퍼
리니어 스케일
원점마크(세로 라인)
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3
2.3 컨베이어부
2.3.1 기판검출 센서
기판 반송 컨베이어에 있는 기판검출 센서( 입구 / 출구 위치 , 통과위치 ) 의 청소방법을 다음과 같이 설명합
니다 .
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내리고 , 탈착합니다 .
c
주의
센서를 세게 누르면 , 광축이 틀어질 우려가 있습니다 .
센서를 청소할 때에는 , 무리한 힘을 가하지 마십시오 .
2
입구
•
출구위치 기판검출 센서를 청소
합니다 .
1. 블로워 브러시로 센서부 상면의 먼지를 털어
주십시오 .
2. IPA 를 조금 적신 와이퍼 또는 면봉으로 센서
상면의 더러움을 닦습니다 .
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3
통과위치 센서 수광부를 청소합니다 .
블로워 브러시로 통과위치 센서 수광부의 먼지를
털어 주십시오 .
4
통과위치 센서 투광부를 청소합니다 .
블로워 브러시로 센서 선단부 홀의 먼지를 털어 주
십시오 .
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n
요점
선단부 홀에 먼지 이외의 이물질이 들어 갔을 경우는 , 버큠
ASSY( 옵션 ) 로 흡입해 주십시오 .
기판 센서의 청소
Step 2, 3
입구(출구)센서
블로워 브러시
와이퍼
통과위치 센서(수광부)
통과위치 센서
(투광부)
기판센서 (투광부)의 청소
Step 4
블로워 브러시
선단부 홀
통과위치 센서(투광부)