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3-56 3 5 .3 컨베이 어 반 송 부 5 .3 . 1 컨베이 어 벨 트 의 점검 과 가이드 • 풀리의 청소 e 1 작 업 준비를 합니다 . 1 . 손목시계 , 자기 I D 카드 등 , 자력에 영 향 을 받 는 물건 은 전 부 빼 둡니 다 . 2. 비상정 지 버 튼을 눌러서 장 비 를 비상정 지 상 태 로 합니 다 . 3. 대차 클램프 스위 치로 대차를 내려 서 탈착합니 다. 4. 테 이…

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3
5.2.2 시저스 기어의 청소와 급유
시저스 기어는 보통 1 년에 한 번 청소와 급유가 필요합니다. 다음의 순서에 따라 실시해 주십시오 .
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
e
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니다 .
4. 작업하기 수월한 위치에 헤드 유닛을 이동시키고 , 사각건을 그 밑에 깔아 둡니다 .
2
기어 커버를 탈착합니다 .
육각렌치 (2.5) 로 기어 커버의 고정볼트 (3 개 ) 를
분리해서 커버를 탈착해 주십시오 .
57368-N9-00
3
시저스 기어를 청소합니다 .
R 축 ( 기어 ) 을 손으로 돌리면서 먼지가 나지 않는
와이퍼 ( 클린룸 용 ) 등으로 시저스 기어부
( 시저스 기어와 그 옆의 기어 ) 의 더러움을 닦아
주십시오 .
57369-N9-00
4
구리스를 도포합니다 .
1. R 축을 손으로 돌리면서 시저스 기어에 지정
구리스 (NSL) 를 도포합니다 .
2. 스며 나오는 여분의 구리스를 와이퍼로 닦아
주십시오 .
5
기어 커버를 장착합니다 .
기어 커버를 원상태로 해서 육각렌치로 기어 커버
의 고정볼트 (3 개 ) 를 체결해 주십시오 .
기어 커버의 분리
Step 2
기어 커버의 고정볼트
기어 커버
시저스 기어의 청소
Step 3
시저스 기어
와이퍼 (클린룸 용)

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3
5.3 컨베이어 반송부
5.3.1 컨베이어 벨트의 점검과 가이드
•
풀리의 청소
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받
는 물건은 전부 빼 둡니다 .
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태
로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니
다.
4. 테이프 커터부의 덕트를 분리합니다 .
5. 사각건을 푸쉬업 플레이트 위에 깔아 둡니다 .
2
클램프 보드를 탈착합니다 .
육각렌치(2.5)로 클램프 보드의 고정볼트(4군데)
를 빼서 클램프 보드를 탈착해 주십시오 .
57370-N9- 00
c
주의
우측 그림의 볼트 4 개 이외는 풀거나 빼지 마십시오 .
3
풀리의 위치를 마킹합니다 .
벨트를 풀기 전에 , 텐션이 걸려 있는 풀리의 고정
볼트 위치를 유성펜으로 마킹해 주십시오 .
57371-N9- 0 0
4
벨트를 느슨하게 합니다 .
1. 육각렌치 2 개로 텐션이 걸려있는 풀리를 풀어
서 , 긴 구멍의 끝까지 ( 푸는 방향 ) 이동시켜
주십시오 .
풀리측 : 육각렌치 (5mm)
고정측 : 육각렌치 (4mm)
2. 일자 드라이버로 풀리 샤프트를 풀어서 풀리를
분리해 주십시오 .
57372-N9-00
c
주의
와셔를 분실하지 않도록 주의해 주십시오 .
클램프 보드의 탈착
Step 2
클램프 보드
클램프 보드 고정볼트
풀리 위치의 마킹
Step3
풀리의 위치를 유성펜으로 마킹한다
벨트 풀기
Step 4
육각렌치 (4)
육각렌치 (5)
텐션이 걸려있는 풀리
와셔분리하는 풀리풀리 샤프트

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3
5
풀리로부터 벨트를 분리합니다 .
분리한 벨트에 균열이나 마모 , 보풀 등의 유무를
확인해 주십시오 .
균열이나 마모되어 있을 경우에는 , 제 6 장「2.1
컨베이어 벨트의 교환」을 참조해서 교환해 주십
시오 .
6
가이드와 풀리를 청소합니다 .
1. 벨트 가이드와 센서부 등에 부착되어 있는
벨트의 마모 가루는 버큠 ASSY( 옵션 ) 으로
흡인해 주십시오 .
2. 풀리의 외주면에 벨트 마모 가루가 부착되어
있을 경우에는 , 플라스틱 헤라 등으로 제거합
니다 .
3. 벨트 가이드부에 마모 가루가 들어가 있을
경우에는 , 브러시 등으로 제거해 주십시오 .
57373-N9-00
c
주의
풀리나 가이드에 상처내지 않도록 , 헤라와 브러시를 주의해서 사
용해 주십시오 .
c
주의
현저한 더러움 이외에는 용제 (IPA 등 ) 를 사용하지 마십시오 .
용제를 사용해야 할 경우에는 , 풀리의 베어링부에 용제가 튀지
않도록 주의해서 청소해 주십시오 .
7
벨트를 원상태로 장착합니다 .
1. 벨트를 텐션이 걸려있는 풀리에 임시로 걸어둡
니다 .
2. Step4 에서 분리한 풀리에 벨트를 걸면서
와셔와 함께 끼우고 , 풀리 샤프트로 고정해
주십시오 .
3. Step4 에서 이동시킨 풀리를 Step3 에서
마킹해둔 위치까지 이동시켜서 고정합니다 .
4. 벨트가 느슨할 경우에는 , 텐션이 걸려있는
풀리의 위치를 조절해서 벨트에 텐션을 걸어
주십시오 .
n
요점
본 장비의 컨베이어 벨트의 텐션 규격치는 다음과 같습니다.
필요에 따라 , 텐션 조정기를 사용해서 조절해 주십시오 .
•
스테이지 1 :206~320Hz
•
스테이지 2 :180~220H z
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c
주의
텐션이 걸려있는 풀리의 체결 토르크는 5.5N
•
m 입니다 .
심하게 조이지 않도록 주의해 주십시오 .
8
클램프 보드를 원상태로 장착합니다 .
1. 클램프 보드를 원위치에 장착하고 , 육각렌치
(2.5) 로 기판 클램프 고정볼트를 체결합니다 .
2. 깔아둔 사각건을 정리합니다 .
9
테이프 커터부의 덕트도 원상태로 장착
해 주십시오 .
Step 6
헤라
(플라스틱)
브러시
벨트 가이드
풀리 외주면
풀리 외주면
벨트의 마모가루
부착상태
가이드・풀리의 청소
텐션 측정 장소
Step 7
텐션 측정 장소
(각 레인 바깥쪽)