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3-55 3 5 .2.2 시저스 기 어의 청소와 급유 시 저 스 기 어 는 보 통 1 년 에 한 번 청 소 와 급 유 가 필 요 합 니 다 . 다음 의 순 서 에 따라 실 시 해 주십 시 오 . 1 작 업 준비를 합니다 . 1 . 손목 시계 , 자 기 ID 카드 등 , 자 력 에 영 향을 받 는 물 건 은 전 부 빼 둡니 다 . e 2. 비 상정 지 버 튼을 눌러서 장비 를 비 상정 지 상 …

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3
5
플라인 샤프척합니다 .
1. 스플라인 샤프트 하부IPA 받아낼 종이
등을 놓아 둡니 .
2. 스플라인 샤프트클리킷의 삽입
니다 .
3. IPA 주입해서 스플라인 샤프트의 에어 경로
씻어 내 .
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c
주의
클리닝 킷의 선단은 반드시 15mm 이상 삽입해 주십시오 .
삽입 길이가 불분하면 , 샤프트 상부의 패킹류에 IPA 가 흘러
들어갈 우려가 있습니다 .
6
플라인의 에어 경로를 블로우합니다 .
1. 에어블로 ( ) 차의 에어
속해서 준비둡니 .
2. 스플라인 샤프트의 단부에 헝겊 등을
어블스플라인 샤프트 안을 에어
블로우합니다 .
3. 스플라인 샤프트 아래에 깔아헝겊오염
물이 나오않는 , 메인터넌
장착합니 .
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c
주의
배기 블로우 에어가 얼굴에 맞닿을 경우가 있으 , 반드시
호안경을 착용해 주십시오 .
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업을 복합니다 .
Step4~Step6 작업을 반복해서 , 다른쪽
스플라인 샤프트안도 척해 주십시 .
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노즐원상태로 니다 .
n
요점
한 노즐은 반시 헤에 되돌려 주 .
스플라인 세척
Step 5
노즐
종이 컵 등
IPA
15mm 이상
스플라인 샤프트내의 에어 블로우
Step 6
이 구멍으로 에어 블로우 한다
에어 블로우 툴
헝겊 등
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3
5.2.2 시저스 어의 청소와 급유
1 . 다음따라 주십 .
1
준비를 합니다 .
1. 손목시계 , ID 카드 등 , 향을 둡니 .
e
2. 상정튼을 눌러서 장비상정합니 .
3. 클램위치려서 탈착합니 .
4. 수월유닛시키 , 밑에 깔둡니 .
2
기어 커버를 합니 .
육각 (2.5) 기어 커버고정 (3 )
분리해서 커버탈착해 주십 .
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3
시저스 기어를 청소합니다 .
R ( 기어 ) 으로 돌리면서 나지 않는
와이퍼 ( 클린룸 용 ) 등으로 기어
( 시저어와 그 기어 ) 더러움을
십시오 .
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4
구리스포합니다 .
1. R 축을 으로 돌리면서 시저기어지정
리스 (NSL) 포합니다 .
2. 스며 나오여분구리스를 와이퍼닦아
십시오 .
5
기어 커버를 합니 .
커버원상태로 해서 육각기어
(3 ) 체결주십시 .
기어 커버의 분리
Step 2
기어 커버의 고정볼트
기어 커버
시저스 기어의 청소
Step 3
시저스 기어
와이퍼 (클린룸 용)
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5.3 컨베이
5.3.1 컨베이점검가이드
풀리의 청소
e
1
준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에
물건둡니 .
2. 비상정튼을 눌러서 장비상정
합니 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려탈착합니
다.
4. 이프 커터부의 분리합니 .
5. 각건푸쉬업 플레위에 깔둡니 .
2
클램드를 니다 .
육각(2.5)로 클램프 보드의 고정(4군데)
빼서 클램보드탈착주십시 .
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주의
측 그림의 볼트 4 개 이외는 풀거나 빼지 마십시오 .
3
풀리의 위치를 니다 .
풀기 전에 , 텐션걸려 있는 풀리의
으로 마킹해 주십시 .
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4
트를 느슨하게 합니다 .
1. 각렌치 2 개로 텐션걸려풀리풀어
, 구멍의 끝까지 ( 푸는 방향 ) 동시
십시오 .
풀리측 : 렌치 (5mm)
: 육각렌 (4mm)
2. 일자 드라풀리 샤프트어서 풀리
분리주십시 .
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주의
와셔를 분실하지 않도록 주의해 주십시 .
클램프 보드의 탈착
Step 2
클램프 보드
클램프 보드 고정볼트
풀리 위치의 마킹
Step3
풀리의 위치를 유성펜으로 마킹한다
벨트 풀기
Step 4
육각렌치 (4)
육각렌치 (5)
텐션이 걸려있는 풀리
와셔분리하는 풀리풀리 샤프트