YSM40R_Mainte_K.pdf - 第90页
3-21 3 8 리니어 스 케일부 를 청 소합니다 . 종이 와이퍼 등 으로 닦 아 주십시 오 . 더 러 움이 심할 경우는 , IPA 를 적신 와 이퍼 로 우측 그 림과 같 이 일정 방향으로 닦은 후에 종이 와이퍼 로 닦아 주 십 시 오 . 57 321- N9 - 0 0 c 주의 리니 어 스케일부 를 청소할 때에는 , 너무 세게 닦지 마 십시오 . 리니어 스케일의 청소 Step 8 와이퍼 리니…
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3
2.1.3 Y 축 가이드의 청소
•
급유 , 리니어 스케일의 청소 (4 빔 )
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내리고 , 탈착합니다 .
4. 사각건을 푸쉬업 플레이트 위에 깔아 둡니다 .
2
가이드를 청소합니다 .
1. Y 축을 한쪽으로 이동시키고 , 가이드 전체를
먼지가 나지 않는 종이 와이퍼 ( 크린룸 용 ) 등
으로 닦습니다 .
2. 그 다음에 , 축을 반대쪽으로 이동시켜서 ,
반대쪽의 가이드도 닦습니다 .
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3
구리스를 주입합니다 .
구리스 건 ( 표준타입 ) 을 사용해서 , Y 축 가이드
용 구리스 니플 ( 합계 4 군데 ) 로부터 지정 구리스
(NSL) 를 주입합니다 .
1. 전후 하부의 합계 2 군데에 주입합니다 .
2. 전후 상부의 합계 2 군데에 주입합니다 .
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4
구리스를 스며들게 합니다 .
손으로 Y 축을 수차례 전후로 움직여서 , 구리스가
가이드에 스며들게 합니다 .
n
요점
축이 움직이면 니플로부터 주입한 구리스가 가이드부에
스며 나옵니다 .
5
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
가이드 양단부의 여분의 구리스를 닦습니다 .
6
재차 구리스를 주입합니다 .
Step3~5 의 작업을 추가로 두차례 반복해 주십시
오 . 구리스가 가이드 전체에 도포되어 있는지를
육안으로 확인합니다 .
7
워밍업 운전을 합니다 .
1. 깔아둔 사각건을 제거합니다 .
2. 장비의 커버를 닫고 , 대차를 사용하고 있을 경
우 세팅한 후 , 비상정지를 해제합니다 .
e
3. 워밍업 화면을 표시해서 8 분정도 워밍업합니
다 . 정지 후 , 비상정지 버튼을 누르고 가이드
및 가이드 단면에 고인 구리스를 닦아 주십시
오.
c
주의
구리스 고임이 없어질 때까지 Step7 을 반복해 주십시오 .
구리스의 고임이 남아있는 채로 생산을 하면 구리스가 튀어 날릴
경우가 있으므로 주의해 주십시오 .
가이드의 청소
Step 2
와이퍼
가이드
구리스의 주입
Step 3
전후 하부
전후 상부
구리스 건 (표준타입)
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3
8
리니어 스케일부를 청소합니다 .
종이 와이퍼 등으로 닦아 주십시오 .
더러움이 심할 경우는 , IPA 를 적신 와이퍼로
우측 그림과 같이 일정방향으로 닦은 후에 종이
와이퍼로 닦아 주십시오 .
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c
주의
리니어 스케일부를 청소할 때에는 , 너무 세게 닦지 마십시오 .
리니어 스케일의 청소
Step 8
와이퍼
리니어 스케일
일정 방향으로 닦는다
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3
2.2 X-Y 축 (2 빔 )
2 빔 사양 장비의 점검•청소•급유방법에 대해서 설명합니다. 급유개소와 급유형태에 관해서는 , 「제 5 장 급유
개소 일람」을 참조해 주십시오. 구리스건(표준노즐과 굽은타입 노즐)과 지정 구리스(NSL)를 준비해 주십시오.
2.2.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급유 (2 빔 )
1
작업 준비를 합니다 .
e
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니다 .
4. 사각건을 Y 축 리니어부와 푸쉬업 플레이트 위에 깔아 둡니다 .
2
구리스 비산방지 커버를 분리합니다 .
X 축의 구리스 비산방지 커버를 떼어내 주십시오 .
1. 십자 드라이버로 구리스 비산방지 커버 ( 모터
쪽 ) 의 고정 나사를 뺍니다 .
2. 헤드 유닛을 모터쪽으로 가까이합니다 .
3. 십자 드라이버로 모터와 반대쪽의 커버 고정나
사를 풀어서 구리스 비산방지 커버를 당겨서
뺍니다 .
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참고
X 축의 구리스 비산방지 커버를 부착할 때에는 , 상기의 반대
순서로 작업해 주십시오 .
3
볼스크류부를 청소합니다 .
1. 이동 핸들을 잡고 헤드 유닛을 한쪽으로 이동
시킵니다 .
2. 볼스크류 전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이
퍼 ( 크린룸용 ) 로 오래된 구리스와 더러움을
닦습니다 .
3. 헤드 유닛을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽
의 볼스크류도 닦습니다 .
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c
주의
청소 작업시에는 볼스크류의 리드홈도 깨끗하게 닦아 주십시오 .
또한 , 청소후에 이물질의 부착 여부도 확인해 주십시오 .
4
구리스를 주입합니다 .
1. 우측그림과 같이 구리스건 삽입 구멍에 구리스
니플이 보이도록 헤드 유닛을 손으로 이동시킵
니다 .
2. 구리스 건 (30°굽은타입 ) 으로 구리스 니플로
부터 지정 구리스를 주입합니다 .
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n
요점
새로운 구리스가 틈새로부터 스며 나올때까지 주입해 주십
시오 .
비산방지 커버의 분리
Step 2
비산방지 커버
커버 고정나사
볼스크류의 청소
Step 3
종이 와이퍼
볼스크류
구리스의 주입
Step 4
구리스 니플
구리스건
(30°굽은타입)