YSM40R_Mainte_K.pdf - 第89页
3-20 3 2. 1 .3 Y 축 가이드 의 청소 • 급 유 , 리니어 스 케일 의 청소 ( 4 빔 ) e 1 작 업 준비를 합니다 . 1 . 손목 시계 , 자 기 ID 카드 등 , 자 력 에 영 향을 받 는 물 건 은 전 부 빼 둡니 다 . 2. 비 상정 지 버 튼을 눌러서 장비 를 비 상정 지 상 태 로 합니 다 . 3. 대 차 클램 프 스 위치 로 대 차 를 내 리 고 , 탈착합니 다 …
3-19
3
4
바깥쪽과 아래쪽 니플에 구리스를 주입
합니다 .
1. 이동 핸들을 잡고 헤드 유닛을 장비 중앙으로
이동시킵니다 .
2. 구리스 건 ( 굽은타입 ) 으로 헤드의 바깥쪽과
아래쪽의 구리스 니플 ( 합계 2 군데 ) 로부터
지정 구리스 (NSL) 를 주입해 주십시오 .
57318-N9-00
n
요점
우측 그림과 같이 X 축 프레임의 개구부로부터 접근하면 ,
급유를 수월하게 할 수 있습니다.
5
구리스를 스며들게 합니다 .
손으로 X 축을 수차례 좌우로 움직여서 , 가이드에
구리스가 스며들도록 해 주십시오 .
n
요점
니플에 주입한 구리스는 , 축을 움직이면 가이드부에 스며
나옵니다 .
6
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
가이드 양단부의 여분의 구리스를 닦아주십시오 .
7
재차 구리스를 주입합니다 .
Step3~6 의 작업을 추가로 두차례 반복해 주십시
오 . 구리스가 가이드 전체에 도포되어 있는지를
육안으로 확인합니다 .
8
워밍업 운전을 합니다 .
1. 깔아둔 사각건을 제거합니다 .
2. 장비의 커버를 닫고 , 대차를 사용하고 있을
경우 세팅한 후 , 비상정지를 해제합니다 .
e
3. 워밍업 화면을 표시해서 , 8 분정도 워밍업을
해 주십시오 . 정지후 , 비상정지 버튼을 누르
고 , 가이드 단면에 고인 구리스를 닦습니다 .
c
주의
구리스 고임이 없어질 때까지 Step7 을 반복해 주십시오 .
구리스의 고임이 남아있는 채로 생산을 하면 구리스가 튀어
날릴 경우가 있으므로 주의해 주십시오 .
구리스의 주입
Step 4
구리스 건 (굽은 타입)
X축 프레임 개구부
헤드 바깥쪽 니플 (1군데)
헤드 아래쪽 니플 (1군데)
헤드 바깥쪽 니플로의 급유
개구부를 통과해서 주입
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3
2.1.3 Y 축 가이드의 청소
•
급유 , 리니어 스케일의 청소 (4 빔 )
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내리고 , 탈착합니다 .
4. 사각건을 푸쉬업 플레이트 위에 깔아 둡니다 .
2
가이드를 청소합니다 .
1. Y 축을 한쪽으로 이동시키고 , 가이드 전체를
먼지가 나지 않는 종이 와이퍼 ( 크린룸 용 ) 등
으로 닦습니다 .
2. 그 다음에 , 축을 반대쪽으로 이동시켜서 ,
반대쪽의 가이드도 닦습니다 .
57319-N9-00
3
구리스를 주입합니다 .
구리스 건 ( 표준타입 ) 을 사용해서 , Y 축 가이드
용 구리스 니플 ( 합계 4 군데 ) 로부터 지정 구리스
(NSL) 를 주입합니다 .
1. 전후 하부의 합계 2 군데에 주입합니다 .
2. 전후 상부의 합계 2 군데에 주입합니다 .
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4
구리스를 스며들게 합니다 .
손으로 Y 축을 수차례 전후로 움직여서 , 구리스가
가이드에 스며들게 합니다 .
n
요점
축이 움직이면 니플로부터 주입한 구리스가 가이드부에
스며 나옵니다 .
5
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
가이드 양단부의 여분의 구리스를 닦습니다 .
6
재차 구리스를 주입합니다 .
Step3~5 의 작업을 추가로 두차례 반복해 주십시
오 . 구리스가 가이드 전체에 도포되어 있는지를
육안으로 확인합니다 .
7
워밍업 운전을 합니다 .
1. 깔아둔 사각건을 제거합니다 .
2. 장비의 커버를 닫고 , 대차를 사용하고 있을 경
우 세팅한 후 , 비상정지를 해제합니다 .
e
3. 워밍업 화면을 표시해서 8 분정도 워밍업합니
다 . 정지 후 , 비상정지 버튼을 누르고 가이드
및 가이드 단면에 고인 구리스를 닦아 주십시
오.
c
주의
구리스 고임이 없어질 때까지 Step7 을 반복해 주십시오 .
구리스의 고임이 남아있는 채로 생산을 하면 구리스가 튀어 날릴
경우가 있으므로 주의해 주십시오 .
가이드의 청소
Step 2
와이퍼
가이드
구리스의 주입
Step 3
전후 하부
전후 상부
구리스 건 (표준타입)
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3
8
리니어 스케일부를 청소합니다 .
종이 와이퍼 등으로 닦아 주십시오 .
더러움이 심할 경우는 , IPA 를 적신 와이퍼로
우측 그림과 같이 일정방향으로 닦은 후에 종이
와이퍼로 닦아 주십시오 .
57321-N9-0 0
c
주의
리니어 스케일부를 청소할 때에는 , 너무 세게 닦지 마십시오 .
리니어 스케일의 청소
Step 8
와이퍼
리니어 스케일
일정 방향으로 닦는다