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3-27 3 2 .3 컨베 이어 부 2.3 . 1 기판검출 센서 기 판 반송 컨 베 이 어 에 있 는 기 판 검 출 센 서 ( 입 구 / 출구 위 치 , 통 과위 치 ) 의 청 소 방 법 을 다음 과 같이 설 명 합 니다 . e 1 작 업 준비를 합니다 . 1 . 손목 시계 , 자 기 ID 카드 등 , 자 력 에 영 향을 받 는 물 건 은 전 부 빼 둡니 다 . 2. 비 상정 지 버 튼을 눌…
3-26
3
7
워밍업 운전을 합니다 .
1. 깔아둔 사각건을 제거합니다 .
2. 장비의 커버를 닫고 , 대차를 사용하고 있을 경
우 세팅한 후 , 비상정지를 해제합니다 .
e
3. 워밍업 화면을 표시해서 8 분정도 워밍업합니
다 . 정지 후 , 비상정지 버튼을 누르고 가이드
및 가이드 단면에 고인 구리스를 닦습니다 .
c
주의
구리스 고임이 없어질 때까지 Step7 을 반복해 주십시오 .
구리스의 고임이 남아있는 채로 생산을 하면 구리스가 튀어 날릴
경우가 있으므로 주의해 주십시오 .
8
리니어 스케일부를 청소합니다 .
1. 와이퍼에 IPA 를 적셔서 , 우측의 그림과 같이
가로 방향으로 닦은 후에 종이 와이퍼로 닦아
주십시오 .
2. 와이퍼에 IPA 를 적셔서 , 원점마크 부근을
세로 방향으로 왕복 3 번이상 닦은 후에 종이
와이퍼로 닦아 주십시오 .
57329-N9-00
c
주의
리니어 스케일부를 청소할 때에는 , 너무 세게 닦지 마십시오 .
리니어 스케일의 청소
Step 8
와이퍼
리니어 스케일
원점마크(세로 라인)
3-27
3
2.3 컨베이어부
2.3.1 기판검출 센서
기판 반송 컨베이어에 있는 기판검출 센서( 입구 / 출구 위치 , 통과위치 ) 의 청소방법을 다음과 같이 설명합
니다 .
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내리고 , 탈착합니다 .
c
주의
센서를 세게 누르면 , 광축이 틀어질 우려가 있습니다 .
센서를 청소할 때에는 , 무리한 힘을 가하지 마십시오 .
2
입구
•
출구위치 기판검출 센서를 청소
합니다 .
1. 블로워 브러시로 센서부 상면의 먼지를 털어
주십시오 .
2. IPA 를 조금 적신 와이퍼 또는 면봉으로 센서
상면의 더러움을 닦습니다 .
57330 -N9-00
3
통과위치 센서 수광부를 청소합니다 .
블로워 브러시로 통과위치 센서 수광부의 먼지를
털어 주십시오 .
4
통과위치 센서 투광부를 청소합니다 .
블로워 브러시로 센서 선단부 홀의 먼지를 털어 주
십시오 .
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n
요점
선단부 홀에 먼지 이외의 이물질이 들어 갔을 경우는 , 버큠
ASSY( 옵션 ) 로 흡입해 주십시오 .
기판 센서의 청소
Step 2, 3
입구(출구)센서
블로워 브러시
와이퍼
통과위치 센서(수광부)
통과위치 센서
(투광부)
기판센서 (투광부)의 청소
Step 4
블로워 브러시
선단부 홀
통과위치 센서(투광부)
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3
2.4 베이스부 , 그 외
2.4.1 피더들뜸 센서의 청소
피더의 장착불량을 검지하는 피더들뜸 센서의 청소방법을 다음과 같이 설명합니다.
e
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내리고 , 탈착합니다 .
2
센서 수광부의 먼지를 털어냅니다 .
블로워 브러시로 센서 부근의 먼지를 제거해 주십
시오 .
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3
센서부를 청소합니다 .
IPA 를 조금 적신 와이퍼 또는 면봉으로 센서 표면
을 닦아 주십시오 .
c
주의
센서를 세게 누르면 , 광축이 틀어질 우려가 있습니다 .
센서를 청소할 때에는 , 무리한 힘을 가하지 마십시오 .
n
요점
cATS 사양의 경우에도 피더들뜸 센서가 장착되어 있습니
다. 일괄교환 대차 사양과 같은식으로 청소해 주십시오 .
피더들뜸 센서의 청소
Step 2, 3
피더들뜸 센서
와이퍼