YSM40R_Mainte_K.pdf - 第197页
A-3 A 1 .3 장비 간 입출력 커 넥터 하류 기 및 상 류 기 와 의 기 판 요 구 나 운 전 상 태 등 의 신 호 송 수신 은 , 장 비 본 체 뒷 면 의 N EXT I NTER F A CE 와 PREVIO US I NTERF A CE 커 넥 터 로 실 행 합 니 다 . NEXT INTE RF A CE 커 넥 터 는 하류 기 ( 후장 비 ) 와 접 속 하 고 , P REVIOU S I…
A-2
A
1.2 전원 접속부
본체 정면 하단 우측패널을 열면 전원접속부가 있습니다 . 다음과 같은 전원케이블을 사용하여, 전원 접속단
자판에 L1, L2, L3 과 접지단자 (PE) 를 접속합니다.
■ 전원사양
장비명칭 전원 주파수 전원용량
YSM40R 삼상교류 200/208/220/240/380/400/416V( ± 10%) 50/60Hz 13.9kVA
전원입력 단자 (L1, L2, L3), 접지단자 (PE)
메인 브레이커
전원입력 단자
57A02-N5-10
원형 압착단자
절연 피복부 압착단자
전원 케이블
L2
L1
L3
PE
57A03-N5-00
c
주의
전원 케이블에는 , 도체 단면적이 10 ㎟ 이상의 것을 사용하여 주십시오 .
w
경고
감전사고를 방지하기 위해 , 전원의 접속은 차단기를 내렸는지 확인하고 나서 실행하여 주십시오 . 또한 , 본체 어스부의 접속은
확실하게 해 주십시오 .
c
주의
전원의 접속은 , 윗 그림을 참조해서 반드시 전원 단자대 L1-L2-L3 의 순상이 되도록 접속해 주십시오 . 잘못 접속하면 진공펌프가 역회
전해서 내부의 부품수명을 현저히 저하시킬 가능성이 있습니다 .
장비의 전원을 넣기 전에 검상기로 확인하거나 , 전원을 넣은 후 종이를 진공펌프 앞에 가까이 해서 종이를 빨아 들이면 정상 ( 정회전 ) 인
지 확인할 수 있습니다 .
A-3
A
1.3 장비간 입출력 커넥터
하류기 및 상류기와의 기판요구나 운전상태 등의 신호 송수신은 , 장비 본체 뒷면의 NEXT INTERFACE
와 PREVIOUS INTERFACE 커넥터로 실행합니다.
NEXT INTERFACE 커넥터는 하류기( 후장비 ) 와 접속하고 , PREVIOUS INTERFACE 커넥터는
로더 등의 상류기 ( 전장비 ) 와 접속합니다.
1.3.1 PREVIOUS INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에, 기판반입을 시작합니다.(ADVANCED GATE 선택시 )
1. 본체가 기판반입 가능한 상태 （BUSY OUT:ON）
2. 상류기로부터 기판반입 신호를 입력한 상태（BA IN [N0100421]:ON）
3. 상류기로부터 자동운전 신호를 입력한 상태（UR IN [N0100422]:ON）
n
요점
ㆍ 기판 반입중에 상류기의 자동운전중 신호（UR IN）가 OFF 한 경우, 기판반입을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반입중인 기판이 본체의 입구센서를 통과했다고 판단되었을 때는 , BUSY OUT 을 OFF 합니다 .
ㆍ BUSY OUT 과 BA IN 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반입을 종료합니다.
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3
BUSY OUT
(T01000E4)
+24V
+24V
LR OUT
(T01000E7)
UR IN
(N0100422)
BA IN
(N01000421)
반입중 입력
반출요구 출력
자동운전중 출력
자동운전중 입력
LE OUT
(T01000F3)
장비간 기판대기중 입력
I/O BOARD
PREVIOUS INTERFACE 회로
본체측 PREVIOUS INTERFACE상류기
PREVIOUS INTERFACE
커넥터
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
57A04-N5-00
■ 기판반송 신호사양
PREVIOUS INTERFACE
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 BUSY OUT T01000E4 릴레이 접점출력
기판반입중 신호출력
2 BUSY OUT T01000E4 릴레이 접점출력
3 +24V 입력공통 (+24V)
기판반출요구 신호입력
4 BA IN N0100421 전압 입력
5 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
6~8 비었음
9 +24V 입력공통 (+24V)
자동운전중 신호입력
10 UR IN N0100422 전압 입력
11 LR OUT T01000E7 릴레이 접점출력
자동운전중 신호출력
12 LR OUT T01000E7 릴레이 접점출력
13 LE OUT T01000F3 무전압 출력
장비간 기판대기중 신호출력
14 LE OUT T01000F3 무전압 출력
A-4
A
1.3.2 NEXT INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에, 기판반출을 시작합니다.
1. 본체가 기판반출 가능한 상태（BA OUT:ON）
2. 하류기로부터 기판반입 신호를 입력한 상태（BUSY IN [N0100420]:ON）
3. 하류기로부터 자동운전 신호를 입력한 상태（LR IN [N0100423]:ON）
n
요점
ㆍ 기판반출중에 하류기의 자동운전중 신호（LR IN）가 OFF 한 경우는 기판의 반출을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반출중인 기판이 본체의 출구센서를 통과했다고 판단될 경우, BA OUT 을 OFF 합니다 .
ㆍ BUSY IN 과 BA OUT 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반출을 종료합니다 .
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BUSY IN
(N0100420)
+24V
+24V
UR OUT(T01000E6)
LR IN
(N0100423)
+24V
LE IN
(N0100424)
BA OUT
(T01000E5)
I/O BOARD
GND GND
14
11
12
7
4
8
3
1
반입중 출력
반출요구 입력
자동운전중 입력
자동운전중 출력
장비간 기판대기 출력
NEXT INTERFACE 회로
NEXT INTERFACE
커넥터
본체측 NEXT INTERFACE
하류기
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
57A05-N5-0 0
■ 기판반송 신호사양
NEXT INTERFACE
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 +24V 입력공통 (+24V)
기판반입중 신호입력
2 BUSY IN N0100420 전압 입력
3 BA OUT T01000E5 릴레이 접점출력
기판반출요구 신호출력
4 BA OUT T01000E5 릴레이 접점출력
5 비었음
6 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
7 GND
8 비었음
9 UR OUT T01000E6 릴레이 접점출력
자동운전중 신호출력
10 UR OUT T01000E6 릴레이 접점출력
11 +24V 입력공통 (+24V)
자동운전중 신호입력
12 LR IN N0100423 전압 입력
13 +24V 입력공 통 (+24V)
장비간 기판대기중 신호입력
14 LE IN N0100424 전압 입력