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4-1 4 1. 이 오 나 이 저 이 오나이 저 는 , 장 기 간의 사 용 으로 인해 방 전 침 ( 전 극 ) 이 마 모 해서 노화 됩 니 다 . 또 한 , 제전 효과를 유지 하 기 위 해서 는 다음 과 같이 정 기적 으로 청 소 할 필 요가 있 습니 다 . c 주의 이오나 이저의 방 전침의 선단은 뾰족하며 , 전압 이 흐르 고 있습 니다 . 안전 커버를 열 면 이오나이저의 전원 은 OFF …

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제 4 장 옵션부의 유지보수
목차
1. 이오나이저 4-1
1.1 이오나이저방전침의청소 ( 매월 ) 4-2
1.2 이오나이저방전침의교환 (2 년 ) 4-3
2. UPS( 무정전전원장치 ) 4-4
2.1 UPS 배터리의교환 (3 년 ) 4-4
3. cATS 의점검및청소
•
급유 4-5
3.1 일상점검 4-6
3.1.1 매거진과 팔레트의 점검 4-6
3.2 매월 4-7
3.2.1 AZ 축 4-7
3.2.2 cATS 의 양 사이드 4-7
3.3 6 개월 4-8
3.3.1 AH 축 4-8
3.3.2 매거진 샤프트부 4-8
3.3.3 흡착 스테이션 ( 팔레트 클램프부 ) 4-9
3.3.4 흡착 스테이션 ( 상하 가이드부 ) 4-9
4. 노즐스테이션 4-10
4.1 노즐스테이션센서의상태확인 (1 년 ) 4-10
4.2 노즐스테이션의청소 4-12
4-1
4
1. 이오나이저
이오나이저는 , 장기간의 사용으로 인해 방전침 ( 전극 ) 이 마모해서 노화됩니다 . 또한 , 제전 효과를 유지하기
위해서는 다음과 같이 정기적으로 청소할 필요가 있습니다 .
c
주의
이오나이저의 방전침의 선단은 뾰족하며 , 전압이 흐르고 있습니다 . 안전 커버를 열면 이오나이저의 전원은 OFF 됩니다만 , 장비내에서
유지보수 작업을 실시할 경우에는 , 선단부에 직접 손이 닿지 않도록 주의해 주십시오 .
█
이오나이저 본체의 LED 표시
+ -
Trinc
ERR PREC
GOOD
PREC
ERR
이오나이저 한 개에 2군데의 표시부가 있다
이오나이저
LED 표시내용
57400-N9-00
█
이오나이저의 LED 표시
LED 색깔 상태 내용 비고
GOOD 파란색 점등 통상시
+PREC 녹색 점등
이온 밸런스 보정량 과대
방전침의 오염정도가 진행되고 있는 상태입니다 .
방전침을 청소할 필요가 있습니다 .
− PREC 녹색 점등
+ERR 빨간색 점멸
이온 밸런스 이상
방전침이 현저하게 더러워져 있거나 , 또는 노화되어
있을 우려가 있습니다 . 장비측에서도 에러가 표시됩
니다 .
− ERR 빨간색 점멸
n
요점
이오나이저의 제전 성능은 제전 대상이 되는 기판과 부품의 재질 , 형상에 따라서 달라지므로 반드시 제전이 보장되는 것은 아닙니
다.
4-2
4
1.1 이오나이저 방전침의 청소 ( 매월 )
이 작업은 , 매월 또는 이오나이저 본체의 LED 가 녹색으로 점등 (
+PREC, -PREC
) 되어 있을 경우에 실시합
니다 .
1
이오나이저 전원을 OFF 합니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
열면 이오나이저의 전원이 차단됩니다 .
2. 이오나이저의 LED 가 소등되어 있는지 확인해
주십시오 .
w
경고
전원을 OFF 한 직후는 , 방전침에 전압이 남아 있으므로 ,
만지면 위험하오니 주의해 주십시오 .
2
에어 공급을 OFF 합니다 .
장비정면 좌측 하단의 패널을 열고 ,「에어 공급 /
배출」밸브를 우측으로 돌려서 에어 공급을 차단
합니다 .
3
방전침을 청소합니다 .
1. 이오나이저 부속 브러시 , 또는 면봉 등으로
방전침의 선단부 및 센서부 ( 금색시트 부분 )
의 더러움을 제거해 주십시오 .
2. 더러움이 제거되지 않을 경우는 , 면봉에 IPA
를 조금 적셔서 닦아 주십시오 .
3. IPA 로 청소한 경우는 , 잠시 그대로 건조시킵
니다 .
57401-N9-00
n
요점
방전침 유닛을 탈착해서 방전침을 청소하는 방법도 있습니다 .
방전침 유닛의 탈장착은 , 후술의「1.2 이오나이저 방전침의 교
환 (2 년 )」을 참조해 주십시오 .
c
주의
방전침 유닛을 탈착해서 청소할 경우 , IPA 등에 담궈두지 마십시
오 . 내부에 IPA 가 남아 있는 상태에서 고전압을 가하면 , 이오나
이저 본체가 파손될 우려가 있습니다 .
4
에어를 공급하고 전원을 ON 합니다 .
1. 에어 공급 / 배출 밸브를 전환해서 장비에 에어
를 공급합니다 .
2. 장비의 안전 커버를 닫고 ,「READY」버튼을
누릅니다 .
3. 이오나이저의「GOOD」의 파란색 LED 가 점
등하고 , 에러가 발생하지 않음을 확인합니다 .
방전침의 청소
부속 브러시
센서의 청소부분
방전침
Step 3