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제 4 장 옵 션 부 의 유지 보수 목차 1 . 이오나이 저 4- 1 1 . 1 이오나이저방전침의청소 ( 매월 ) 4-2 1 .2 이오나이저방전침의교환 (2 년 ) 4-3 2. UPS( 무정전전원장치 ) 4-4 2. 1 UPS 배터 리의교환 ( 3 년 ) 4-4 3. cA TS 의점검및청소 • 급유 4-5 3. 1 일상점검 4- 6 3. 1…
3-84
3
9
블로우 전환을 OFF 합니다 .
Step6 의 반대순으로 청소한 헤드유닛의「로드
1(or2)」의 밸브와 ,「블로우 전환」을 OFF
(0 → 1) 로 합니다 .
0
진공 레벨을 확인합니다 .
노즐 & 필터 없음 상태에서 진공레벨을 확인해
주십시오 .
「■ 노즐막힘의 확인방법 (RS 헤드의 경우 )」를
참조해 주십시오 .
•
진공레벨 참고값 :90 이하
NG 의 경우에는 , 해당하는 노즐 샤프트에 대해
재차 Step5~9 의 작업을 실시해 주십시오 .
q
필터를 장착합니다 .
1. 전술의「2.6.1 에어필터의 점검과 교환」을
참조해서 모든 헤드에 새로운 필터를 장착합니
다.
2. 작업이 완료되면 , 사각건을 정리합니다 .
w
스풀의 위치를 복원합니다 .
1. 장비의 안전커버를 닫고 , 대차를 장착합니다 .
2. 비상정지 상태를 해제합니다 .
3. [ 장치 ]-「헤드」 화면에서 테이블을 선택합니
다.
4. [ 밸브 위치복원 ] 버튼을 누르면 , 스풀이 리셋
위치로 되돌아갑니다 .
58307-N9- 0 0
참고
스풀의 복원후의 위치는 진공위치입니다.
밸브 위치복원
Step 12
[밸브 위치복원] 버튼
테이블 선택
제 4 장 옵션부의 유지보수
목차
1. 이오나이저 4-1
1.1 이오나이저방전침의청소 ( 매월 ) 4-2
1.2 이오나이저방전침의교환 (2 년 ) 4-3
2. UPS( 무정전전원장치 ) 4-4
2.1 UPS 배터리의교환 (3 년 ) 4-4
3. cATS 의점검및청소
•
급유 4-5
3.1 일상점검 4-6
3.1.1 매거진과 팔레트의 점검 4-6
3.2 매월 4-7
3.2.1 AZ 축 4-7
3.2.2 cATS 의 양 사이드 4-7
3.3 6 개월 4-8
3.3.1 AH 축 4-8
3.3.2 매거진 샤프트부 4-8
3.3.3 흡착 스테이션 ( 팔레트 클램프부 ) 4-9
3.3.4 흡착 스테이션 ( 상하 가이드부 ) 4-9
4. 노즐스테이션 4-10
4.1 노즐스테이션센서의상태확인 (1 년 ) 4-10
4.2 노즐스테이션의청소 4-12
4-1
4
1. 이오나이저
이오나이저는 , 장기간의 사용으로 인해 방전침 ( 전극 ) 이 마모해서 노화됩니다 . 또한 , 제전 효과를 유지하기
위해서는 다음과 같이 정기적으로 청소할 필요가 있습니다 .
c
주의
이오나이저의 방전침의 선단은 뾰족하며 , 전압이 흐르고 있습니다 . 안전 커버를 열면 이오나이저의 전원은 OFF 됩니다만 , 장비내에서
유지보수 작업을 실시할 경우에는 , 선단부에 직접 손이 닿지 않도록 주의해 주십시오 .
█
이오나이저 본체의 LED 표시
+ -
Trinc
ERR PREC
GOOD
PREC
ERR
이오나이저 한 개에 2군데의 표시부가 있다
이오나이저
LED 표시내용
57400-N9-00
█
이오나이저의 LED 표시
LED 색깔 상태 내용 비고
GOOD 파란색 점등 통상시
+PREC 녹색 점등
이온 밸런스 보정량 과대
방전침의 오염정도가 진행되고 있는 상태입니다 .
방전침을 청소할 필요가 있습니다 .
− PREC 녹색 점등
+ERR 빨간색 점멸
이온 밸런스 이상
방전침이 현저하게 더러워져 있거나 , 또는 노화되어
있을 우려가 있습니다 . 장비측에서도 에러가 표시됩
니다 .
− ERR 빨간색 점멸
n
요점
이오나이저의 제전 성능은 제전 대상이 되는 기판과 부품의 재질 , 형상에 따라서 달라지므로 반드시 제전이 보장되는 것은 아닙니
다.