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제 3 장 정기 적인 유지보수 항목 1 . 매주 3- 1 1 . 1 노즐의점검 3- 1 1 . 1 . 1 노즐 스 프 링부의 점검 3- 1 1 . 1 .2 노즐 판스 프링 / 롤 러 로크부 의 상태확인 3- 2 1 .2 노 즐의청소 와급 유 3-3 1 .2. 1 노즐 스 프링부의 청소 와 급유 3 - 3 1 .2. 2 노즐 에어 경로의 청 소 3-5 1 .2. 3 노즐 선…
KMN918C
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총목차
머리말
1. 각장의내용 i
2. 유지보수항목일람 ii
제 1 장 유지보수에 대하여
1. 장비의성능을유지하기위해서 1-1
1.1 필수조건및환경조건 1-1
1.2 정기적인점검
•
청소의중요성 1-2
2. 유지보수작업의준비 1-3
2.1 소모품 1-3
2.1.1 MU 헤드 유닛 1-3
2.1.2 RS 헤드 유닛 1-5
2.1.3 FL 헤드 유닛 1-8
2.1.4 전기종 공통 1-10
2.2 교환부품 1-12
2.2.1 MU 헤드 유닛 1-12
2.2.2 RS 헤드 유닛 1-13
2.2.3 FL 헤드 유닛 1-14
2.3 유지보수공구 1-15
2.3.1 클리닝 툴 1-15
2.3.2 급유 툴
•
구리스 1-17
2.3.3 스페셜 툴 1-19
2.4 필요공구 1-20
제 2 장 일상적인 유지보수 항목
작업하기전에 2-1
테이프커터부덕트의분리 2-3
1. 노즐상태의확인 2-4
1.1 소프트웨어로확인하기 2-4
1.1.1 노즐 해방시의 진공레벨 2-7
1.2 육안으로확인하기 2-8
2. 피더플레이트의청소 2-10
3. 테이프커터의상태확인 2-11
제 3 장 정기적인 유지보수 항목
1. 매주 3-1
1.1 노즐의점검 3-1
1.1.1 노즐 스프링부의 점검 3-1
1.1.2 노즐 판스프링 / 롤러 로크부의 상태확인 3-2
1.2 노즐의청소와급유 3-3
1.2.1 노즐 스프링부의 청소와 급유 3-3
1.2.2 노즐 에어경로의 청소 3-5
1.2.3 노즐 선단부의 청소 3-6
1.2.4 ANC 노즐 탈장착 툴에 대해서 3-8
1.3 인식장치 3-14
1.3.1 멀티 카메라 조명 보호커버의 청소 3-14
2. 매월 3-15
2.1 X-Y 축 (4 빔 ) 3-16
2.1.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급유 （4 빔） 3-16
2.1.2 X 축 가이드의 청소
•
급유 (4 빔 ) 3-18
2.1.3 Y 축 가이드의 청소
•
급유 , 리니어 스케일의 청소 (4 빔 ) 3-20
2.2 X-Y 축 (2 빔 ) 3-22
2.2.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급유 (2 빔 ) 3-22
2.2.2 X 축 가이드의 청소
•
급유 , 리니어 스케일의 청소 (2 빔 ) 3-24
2.2.3 Y 축 가이드의 청소
•
급유 , 리니어 스케일의 청소 (2 빔 ) 3-25
2.3 컨베이어부 3-27
2.3.1 기판검출 센서 3-27
2.4 베이스부 ,그외 3-28
2.4.1 피더들뜸 센서의 청소 3-28
2.5 일괄교환대차 3-29
2.5.1 대차 캠 폴로어의 청소와 급유 3-29
2.6 RS 헤드 3-30
RS 헤드 / 노즐샤프트의하강방법 3-30
2.6.1 에어필터의 점검과 교환 3-31
3. 3 개월 3-33
3.1 MU 헤드 3-33
3.1.1 에어필터의 청소와 교환 3-33
3.1.2 MU 헤드의 스플라인 샤프트 Z 축의 동작확인 3-34
3.1.3 MU 헤드의 스플라인 샤프트 주변의 확인과 청소 3-34
3.1.4 MU 헤드의 스플라인 샤프트의 급유 ( 필요시에만 ) 3-35
3.2 RS 헤드 3-36
3.2.1 노즐 샤프트 선단부의 점검과 청소 3-36
3.2.2 노즐 샤프트 선단부의 급유 3-37
3.2.3 스풀 ( 진공 전환부 ) 의 청소와 급유 3-39
3.3 FL 헤드 3-41
3.3.1 에어필터의 청소와 교환 3-41
3.3.2 스플라인 샤프트
•
볼스크류의 청소와 급유 3-42
3.4 베이스부 ,그외 3-43
3.4.1 흡기 팬 필터의 청소 3-43
3.4.2 에어 Base-MACS 의 청소 (4 빔 ) 3-45
3.5 일괄교환대차 3-46
3.5.1 가이드 레일 커버 클램프부의 청소와 급유 3-46
4. 6 개월 3-47
4.1 인식장치 3-47
4.1.1 피듀셜 카메라 3-47
4.1.2 멀티 카메라 3-48
4.1.3 사이드뷰 카메라 3-49
4.1.4 RS 헤드 사이드뷰 카메라 3-50
5. 1 년 3-51
5.1 MU 헤드 3-51
5.1.1 스플라인 샤프트 내부의 세척 3-51
5.2 FL 헤드 3-53
5.2.1 스플라인 샤프트의 세척 3-53
5.2.2 시저스 기어의 청소와 급유 3-55
5.3 컨베이어반송부 3-56
5.3.1 컨베이어 벨트의 점검과 가이드
•
풀리의 청소 3-56
5.3.2 6 각 스플라인의 청소
•
급유 3-58
5.3.3 W 축 볼스크류
•
가이드의 청소와 급유 3-59
5.3.4 PU 축 볼스크류의 청소와 급유 3-61
5.4 베이스부 ,그외 3-63
5.4.1 필터의 청소 3-63
5.4.2 에어 / 미스트 필터 및 컵의 청소 3-64
6. 2 년 3-65
6.1 RS 헤드유닛 3-65
6.1.1 시저스 기어의 청소와 급유 3-65
6.1.2 노즐 샤프트 상부의 청소와 급유 3-66
6.1.3 진공라인 패킹 ASSY 의 교환 3-67
6.1.4 블로우 밸브의 교환 3-69
7. 3 년 3-71
7.1 X-Y 축 3-71
7.1.1 Y 축 케이블 베어 체인링크의 교환 3-71
7.2 베이스부 ,그외 3-73
7.2.1 진공 펌프의 유지보수 3-73
7.2.2 펌프의 탈착과 작업준비 3-74
7.2.3 소모품의 분리 3-75
7.2.4 소모품의 장착 3-78
7.2.5 펌프의 장착 3-79
8. 그외 3-80
8.1 RS 헤드유닛의노즐샤프트내부의청소 3-80