YSM40R_Mainte_K.pdf - 第198页
A-4 A 1 .3 .2 NE X T INTERF ACE 아 래 의 1 ~ 3 의 조건 이 갖 추어 진 경 우에 , 기 판 반 출을 시 작 합 니 다 . 1 . 본체가 기판반출 가 능한 상태 （B A OU T :ON ） 2. 하류기 로 부터 기판반입 신 호를 입력 한 상 태 （BU SY I N [N01 0 04 20] :ON ） 3. 하류기 로 부터 자 동운전 신 호 를 입 력 한 상 태 （…
A-3
A
1.3 장비간 입출력 커넥터
하류기 및 상류기와의 기판요구나 운전상태 등의 신호 송수신은 , 장비 본체 뒷면의 NEXT INTERFACE
와 PREVIOUS INTERFACE 커넥터로 실행합니다.
NEXT INTERFACE 커넥터는 하류기( 후장비 ) 와 접속하고 , PREVIOUS INTERFACE 커넥터는
로더 등의 상류기 ( 전장비 ) 와 접속합니다.
1.3.1 PREVIOUS INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에, 기판반입을 시작합니다.(ADVANCED GATE 선택시 )
1. 본체가 기판반입 가능한 상태 （BUSY OUT:ON）
2. 상류기로부터 기판반입 신호를 입력한 상태（BA IN [N0100421]:ON）
3. 상류기로부터 자동운전 신호를 입력한 상태（UR IN [N0100422]:ON）
n
요점
ㆍ 기판 반입중에 상류기의 자동운전중 신호（UR IN）가 OFF 한 경우, 기판반입을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반입중인 기판이 본체의 입구센서를 통과했다고 판단되었을 때는 , BUSY OUT 을 OFF 합니다 .
ㆍ BUSY OUT 과 BA IN 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반입을 종료합니다.
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
7
12
4
8
1
14
11
3
BUSY OUT
(T01000E4)
+24V
+24V
LR OUT
(T01000E7)
UR IN
(N0100422)
BA IN
(N01000421)
반입중 입력
반출요구 출력
자동운전중 출력
자동운전중 입력
LE OUT
(T01000F3)
장비간 기판대기중 입력
I/O BOARD
PREVIOUS INTERFACE 회로
본체측 PREVIOUS INTERFACE상류기
PREVIOUS INTERFACE
커넥터
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
57A04-N5-00
■ 기판반송 신호사양
PREVIOUS INTERFACE
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 BUSY OUT T01000E4 릴레이 접점출력
기판반입중 신호출력
2 BUSY OUT T01000E4 릴레이 접점출력
3 +24V 입력공통 (+24V)
기판반출요구 신호입력
4 BA IN N0100421 전압 입력
5 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
6~8 비었음
9 +24V 입력공통 (+24V)
자동운전중 신호입력
10 UR IN N0100422 전압 입력
11 LR OUT T01000E7 릴레이 접점출력
자동운전중 신호출력
12 LR OUT T01000E7 릴레이 접점출력
13 LE OUT T01000F3 무전압 출력
장비간 기판대기중 신호출력
14 LE OUT T01000F3 무전압 출력
A-4
A
1.3.2 NEXT INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에, 기판반출을 시작합니다.
1. 본체가 기판반출 가능한 상태（BA OUT:ON）
2. 하류기로부터 기판반입 신호를 입력한 상태（BUSY IN [N0100420]:ON）
3. 하류기로부터 자동운전 신호를 입력한 상태（LR IN [N0100423]:ON）
n
요점
ㆍ 기판반출중에 하류기의 자동운전중 신호（LR IN）가 OFF 한 경우는 기판의 반출을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반출중인 기판이 본체의 출구센서를 통과했다고 판단될 경우, BA OUT 을 OFF 합니다 .
ㆍ BUSY IN 과 BA OUT 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반출을 종료합니다 .
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
BUSY IN
(N0100420)
+24V
+24V
UR OUT(T01000E6)
LR IN
(N0100423)
+24V
LE IN
(N0100424)
BA OUT
(T01000E5)
I/O BOARD
GND GND
14
11
12
7
4
8
3
1
반입중 출력
반출요구 입력
자동운전중 입력
자동운전중 출력
장비간 기판대기 출력
NEXT INTERFACE 회로
NEXT INTERFACE
커넥터
본체측 NEXT INTERFACE
하류기
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
57A05-N5-0 0
■ 기판반송 신호사양
NEXT INTERFACE
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 +24V 입력공통 (+24V)
기판반입중 신호입력
2 BUSY IN N0100420 전압 입력
3 BA OUT T01000E5 릴레이 접점출력
기판반출요구 신호출력
4 BA OUT T01000E5 릴레이 접점출력
5 비었음
6 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
7 GND
8 비었음
9 UR OUT T01000E6 릴레이 접점출력
자동운전중 신호출력
10 UR OUT T01000E6 릴레이 접점출력
11 +24V 입력공통 (+24V)
자동운전중 신호입력
12 LR IN N0100423 전압 입력
13 +24V 입력공 통 (+24V)
장비간 기판대기중 신호입력
14 LE IN N0100424 전압 입력
A-5
A
2. 보수부품
2.1 YSM40R 보수부품 리스트
주의
본 매뉴얼에 기재되어 있는 부품 ( 부품번호 ) 은 발행시의 것입니다 .
부품번호는 예고없이 변경될 경우가 있으므로 , 발주시에는 반드시 최신 내용인지 대리점에 확인해 주십시오 .
n
요점
・
소모품의 부위 및 교환방법에 대해서는 , 본 매뉴얼내에 기재되어 있습니다 .
・
노즐에 관련된 소모품에 대해서는 , 제 1 장「2.1 소모품」을 참조해 주십시오 .
◼
소모품 일람
사용부위 명칭 부품명칭 부품번호 비고 수량
RS 헤드유닛
에어필터
FILTER
KMB-M7070-00X
1개 18
✽
1
KMB-M3857-01X
1000 개 세트의 번호 -
✽
1
패킹 ASSY
PACKING ASSY KMB-M70SP-00X
RS 헤드 진공라인 교환부품 1
✽
1
로드 1/2 블로우 밸브
VALVE KMB-M7055-00X
2
✽
1
MU 헤드유닛
노즐 판스프링
LEAF SPRING KG7-M7137-A0X
20
✽
1
노즐 판스프링 고정나사
SCREW,PAN HEAD 90990-08J016
M2xL2.5 20
✽
1
에어 필터
FILTER KLF-M7156-00X
10
✽
1
FL 헤드유닛
노즐 판스프링
PLATE, SPRING K V7-M8171-00X
4
✽
1
노즐 판스프링 고정볼트
BOLT HEX,
SOCKETHEAD
90115 - 02J0 0 4
4
✽
1
노즐 판스프링 고정와셔
WASHER, PLAIN 90990-28J002
4
✽
1
에어 필터
FILTER KLF-M7156-00X
2
✽
1
컨베이어 벨트
컨베이어 벨트
BELT, CONVEYOR 1 KLF-M9110-00X
레인 1 쪽 , 길이 1180mm 4
✽
2
BELT, CONVEYOR 2 KLF-M9117- 0 0X
레인 2 쪽 , 길이 1256mm 4
✽
2
BELT, CV1 KLF-M9177-01X
연장 컨베이어용 길이 1524mm 4
✽
3
베이스부
컨트롤러용 필터
MEDIA FILTER KLA-M53A9-00X
시스템 컨트롤러용 1
FILTER KLA-M53A8-00X
서보 컨트롤러용 1
천장 팬 부분 필터
FILTER,TOP COVER FAN KLF-M130J-00X
2
컨베이어 I/O 부 필터
FILT E R ,CP,FA N KLF-M115J-00X
1
뒤쪽 베이스 팬 부분 필터
FILTER,REAR BASE FAN KLF-M131J-00X
1
필터 엘리먼트
FILTER ELEMENT KLF-M8502-50X
에어필터 1
엘리먼트 어셈블리
MIST FILTER ELEMENT KLF-M8502-70X
오일 미스트 필터 1