YSM40R_Mainte_K.pdf - 第78页

3-9 3 █ M U 헤드 용 노즐의 일괄 탈 착 방법 1 툴 을 노즐 스 테이션에 세팅합니 다 . e 1 . 비상정 지버튼 을누 르고 ,장비의안전커 버 를  오픈합 니다 . 2. 탈착할노 즐의위 치에맞 춰서 ,노즐스테 이션 내 의노즐에툴을똑바 로끼워넣 습니 다 . 3. 툴이노 즐에확 실 히들어가있 는 지확인합니 다. 57 3C8- N9-00 2 노…

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3-8
3
1.2.4 ANC 노즐 탈장착 툴에 대해서
노즐 스테이션 ( 옵션 / 이후 ANC) 을 겸비하고 있는 장비에는 , 유지보수를 위해 노즐 스테이션으로 부터 노즐을
손으로 탈착할 경우가 있습니다. 이 때,「ANC 노즐 탈장착 툴」( 이후 툴이라고 기재 ) 을 사용하면 , 최대 40 개
의 노즐을 한꺼번에 탈착 / 장착할 수가 있습니다.
ANC 노즐 탈장착 툴에는, MU 헤드 유닛용과 RS 헤드 유닛용의 2 종류가 있습니다.
다음의 툴을 사용해서 노즐의 탈착 / 장착 방법에 대해서 설명합니다.
█
MU 헤드용 ANC 노즐 탈장착 툴
노즐 미장착 상태 노즐 장착상태 (아래방향으로 사용)
ANC 노즐 탈장착 툴
MU헤드용
MU헤드용 ANC노즐 탈장착 툴 50X계열, 51X계열 노즐
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█
대상 노즐
사용가능 :50X 계열 노즐 (501A, 502A 노즐 등 ), 51X 계열 노즐 (511A, 512A 노즐 등 )
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3
█
MU 헤드용 노즐의 일괄 탈착방법
1
툴을 노즐 스테이션에 세팅합니다 .
e
1. 비상정지버튼을누르고 ,장비의안전커버를
오픈합니다 .
2. 탈착할노즐의위치에맞춰서 ,노즐스테이션
내의노즐에툴을똑바로끼워넣습니다 .
3. 툴이노즐에확실히들어가있는지확인합니
다.
573C8-N9-00
2
노즐 스테이션의 셔터를 오픈합니다 .
1. [ 장치 ]-「헤드」화면을오픈합니다 .
2.「테이블선택」으로헤드유닛을선택합니다 .
3. [ 노즐 STN셔터 ] 버튼을눌러서노즐스테이
션의셔터를열어주십시오 .
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n
요점
툴을 세팅할 때에는 , 노즐 스테이션에 있는 QR 코드와 툴의
QR Code 가 기재되어 있는 위치를 맞춰서 세팅합니다.
3
툴을 똑바로 들어 올립니다 .
툴을똑바로천천히들어올려주십시오 .
573C9-N9-00
n
요점
노즐 선단이 셔터 등에 부딪히지 않도록 , 툴을 똑바로 천천히
위로 들어 올립니다.
c
주의
툴을 거세게 들어 올리거나 , 무리한 힘을 가하면 노즐이나 노즐
스테이션을 파손시킬 우려가 있습니다 .
4
노즐 스테이션의 셔터를 닫습니다 .
1. 장비의안전커버를닫고 ,비상정지를해제합
니다 .
2. 재차[ 노즐 STN셔터 ] 버튼을눌러서 ,노즐
스테이션의셔터를닫아주십시오 .
노즐 스테이션 셔터 열기
Step 2
테이블 선택
[노즐STN셔터] 버튼
ANC 노즐 탈장착 툴의 세팅
Step 1
탈착할 노즐에 맞춰서 툴을
똑바로 끼워서 넣는다
노즐의 홈과 판 스프링의 돌기부가
맞물려 있는지 확인한다
QR코드
QR Code
ANC 노즐 탈장착 툴 들어 올리기
Step 3
셔터에 부딪히지 않도록
툴을 똑바로 들어 올린다
3-10
3
█
MU 헤드용 노즐의 일괄 장착방법
노즐 스테이션으로의 노즐 장착은 , 탈착했을 때와 반대순으로 실시합니다 .
1
노즐의 세팅위치를 확인합니다 .
노즐을 세팅할 위치에 다른 노즐이 들어 있지 않은지 확인하고 , 장착위치가 올바른지도 확인해 주십시
오.
n
요점
노즐의 세팅위치는 , 장비 내부에 부착되어 있는 노즐배치 라벨 또는「장비설정」내의「노즐 스테이션」을 확인합니다.
2
툴에 노즐을 세팅합니다 .
c
주의
노즐 스테이션의 각 수납위치에는 , 노즐의 종류와 방향이 틀리지 않도록 위치 결정핀이 들어 있습니다 . 툴에 노즐을 세팅할 때에는 , 노즐
의 종류와 방향이 틀리지 않도록 주의해 주십시오 .
3
노즐 스테이션의 셔터를 오픈합니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를 오픈합니다 .
2. [ 장치 ]-「헤드」화면을 열고 ,「테이블 선택」으로 헤드유닛을 선택합니다 .
3. [ 노즐 STN 셔터 ] 버튼을 눌러서 노즐 스테이션의 셔터를 열어 주십시오 .
4
툴을 노즐 스테이션에 세팅합니다 .
1. Step2 에서 노즐을 세팅한 툴을 노즐 스테이션의 해당하는 위치에 끼웁니다 .
2. 노즐이 노즐 스테이션에 확실하게 들어 있는지 확인합니다 .
5
노즐 스테이션의 셔터를 닫습니다 .
재차 [ 노즐 STN 셔터 ] 버튼을 눌러서 , 노즐 스테이션을 닫아 주십시오 .
6
툴을 똑바로 들어 올립니다 .
1. 툴을 똑바로 천천히 들어 올려 주십시오 .
2. 장비의 안전커버를 닫고 , 비상정지를 해제합니다 .
n
요점
노즐 선단이 셔터 등에 부딪히지 않도록 , 툴을 똑바로 천천히 위로 들어 올립니다.
c
주의
툴을 거세게 들어 올리거나 , 무리한 힘을 가하면 노즐이나 노즐 스테이션을 파손시킬 우려가 있습니다 .