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3-22 3 2 . 2 X-Y 축 ( 2 빔 ) 2 빔 사 양 장 비 의 점 검• 청 소 • 급 유 방 법 에 대 해 서 설 명 합 니 다 . 급 유 개 소 와 급 유 형 태 에 관해 서 는 , 「제 5 장 급유 개 소 일 람 」 을 참 조 해 주십 시 오 . 구리 스 건 ( 표 준 노 즐 과 굽 은 타 입 노 즐 ) 과 지 정 구 리 스 ( NSL ) 를 준 비 해 주십 시 오 . 2.2.…
3-21
3
8
리니어 스케일부를 청소합니다 .
종이 와이퍼 등으로 닦아 주십시오 .
더러움이 심할 경우는 , IPA 를 적신 와이퍼로
우측 그림과 같이 일정방향으로 닦은 후에 종이
와이퍼로 닦아 주십시오 .
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c
주의
리니어 스케일부를 청소할 때에는 , 너무 세게 닦지 마십시오 .
리니어 스케일의 청소
Step 8
와이퍼
리니어 스케일
일정 방향으로 닦는다
3-22
3
2.2 X-Y 축 (2 빔 )
2 빔 사양 장비의 점검•청소•급유방법에 대해서 설명합니다. 급유개소와 급유형태에 관해서는 , 「제 5 장 급유
개소 일람」을 참조해 주십시오. 구리스건(표준노즐과 굽은타입 노즐)과 지정 구리스(NSL)를 준비해 주십시오.
2.2.1 X 축 볼스크류의 청소
•
급유 (2 빔 )
1
작업 준비를 합니다 .
e
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니다 .
4. 사각건을 Y 축 리니어부와 푸쉬업 플레이트 위에 깔아 둡니다 .
2
구리스 비산방지 커버를 분리합니다 .
X 축의 구리스 비산방지 커버를 떼어내 주십시오 .
1. 십자 드라이버로 구리스 비산방지 커버 ( 모터
쪽 ) 의 고정 나사를 뺍니다 .
2. 헤드 유닛을 모터쪽으로 가까이합니다 .
3. 십자 드라이버로 모터와 반대쪽의 커버 고정나
사를 풀어서 구리스 비산방지 커버를 당겨서
뺍니다 .
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참고
X 축의 구리스 비산방지 커버를 부착할 때에는 , 상기의 반대
순서로 작업해 주십시오 .
3
볼스크류부를 청소합니다 .
1. 이동 핸들을 잡고 헤드 유닛을 한쪽으로 이동
시킵니다 .
2. 볼스크류 전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이
퍼 ( 크린룸용 ) 로 오래된 구리스와 더러움을
닦습니다 .
3. 헤드 유닛을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽
의 볼스크류도 닦습니다 .
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c
주의
청소 작업시에는 볼스크류의 리드홈도 깨끗하게 닦아 주십시오 .
또한 , 청소후에 이물질의 부착 여부도 확인해 주십시오 .
4
구리스를 주입합니다 .
1. 우측그림과 같이 구리스건 삽입 구멍에 구리스
니플이 보이도록 헤드 유닛을 손으로 이동시킵
니다 .
2. 구리스 건 (30°굽은타입 ) 으로 구리스 니플로
부터 지정 구리스를 주입합니다 .
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n
요점
새로운 구리스가 틈새로부터 스며 나올때까지 주입해 주십
시오 .
비산방지 커버의 분리
Step 2
비산방지 커버
커버 고정나사
볼스크류의 청소
Step 3
종이 와이퍼
볼스크류
구리스의 주입
Step 4
구리스 니플
구리스건
(30°굽은타입)
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3
5
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
1. 이동 핸들을 잡고 헤드 유닛을 한쪽으로 이동
시킵니다 .
2. 볼스크류 및 볼스크류 단면에 고인 여분의 구
리스를 닦아냅니다 .
3. 헤드 유닛을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽
의 볼스크류 및 볼스크류 단면에 고인 여분의
구리스도 닦아냅니다 .
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6
워밍업을 합니다 .
1. 깔아둔 사각건을 제거합니다 .
2. 비산방지 커버를 원상태로 장착합니다 .
3. 장비의 커버를 닫고 , 대차를 세팅한 후 , 비상
정지를 해제합니다 .
4. 워밍업 화면을 표시해서 , 8 분정도 워밍업을
해 주십시오 .
e
7
구리스의 상태를 확인합니다 .
1. 워밍업 종료후 , 비상정지 버튼을 누르고 비산
방지 커버를 떼어냅니다 .
2. 볼스크류 및 볼스크류 단면에 고여있는 구리스
를 닦아 주십시오 .
c
주의
구리스 고임이 없어질 때까지 Step6~7 을 반복해 주십시오 .
구리스의 고임이 남아있는 채로 생산을 하면 구리스가 튀어 날릴
경우가 있으므로 주의해 주십시오 .
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구리스 비산방지 커버를 원상태로 장착
합니다 .
여분의 구리스 닦아내기
Step 5
여분의 구리스