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제 2 장 일상적 인 유지 보수 항 목 목차 작 업 하 기전에 2 - 1 테 이프커터부덕 트의분리 2- 3 1 . 노 즐 상태의확인 2 -4 1 . 1 소 프트웨어로확인하 기 2-4 1 . 1 . 1 노즐 해방시의 진공 레 벨 2 - 7 1 .2 육안으로확 인하 기 2 -8 2. 피 더플레이 트의청소 2 - 1 0 3. 테 이프커 터 의상…
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2.4 필요공구
유지보수에 필요한 아래의 공구 및 툴을 준비하여 주십시오 .
■ 공구 리스트
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: 동봉 부속품 ○ : 옵션 구입품
명칭 적용 비고
○ 십자 드라이버 대•소
○ 일자 드라이버 대•소
정밀 십자 드라이버 #0•#1 ( 노즐 판스프링 교환 , 밸브교환에 사용 )
○ 6 각 렌치세트 1 세트 HEX, WRENCH SET
○ 구리스건 구리스 보급용
○ 에어 블로우 툴 청소용
○ 초음파 세척기 노즐세척에 사용합니다 .
● 노즐 스프링부 급유용 실린지 터빈유 (VG32) 의 급유에 사용합니다 .
● 노즐청소 와이어 노즐 , 스플라인 구멍의 청소에 사용합니다 .
○ 버큠 ASSY 피더 플레이트 상면을 청소합니다 .
■ 기타 툴 리스트
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: 동봉 부속품 ○ : 옵션 구입품
명칭 적용
종이 와이퍼 먼지가 나지 않는 것을 준비하여 주십시오 .
사각건 ( 사각 헝겊 ) 부품의 분실이나 더러움을 방지하기 위해 사용합니다 . (2 장 )
세척용 알코올 IPA ( 이소프로필 알코올 ) 또는 에탄올을 준비하여 주십시오 .
종이컵 또는 트레이 스플라인 청소시에 사용합니다 .
샬레 (Schale) RS 헤드의 샤프트용 구리스를 넣습니다 .
○ 면봉 (15cm) 카메라의 렌즈와 반투명 유리 및 조명 청소에 사용합니다 .
○ 렌즈클리너 카메라의 렌즈와 조명 청소 등에 사용합니다 .
○ 블로워 브러시 카메라 렌즈와 조명 등의 청소에 사용합니다 .
○ 클리닝 킷 스플라인 샤프트의 청소에 사용합니다 .
○ RS 헤드용 필터 일괄 삽입 툴 RS 헤드의 필터 장착시에 사용합니다 .
○ RS 헤드용 ANC 노즐 탈장착 툴 RS 헤드의 노즐 청소시 , ANC 노즐의 탈장착에 사용합니다 .
● RS 헤드 급유용 지그 RS 헤드의 샤프트부의 급유에 사용합니다 .
○ MU 헤드용 판스프링 장착 툴 MU 헤드의 판스프링 장착시에 사용합니다 .
○노즐 급유 툴 노즐의 스프링부에 급유할 때 사용합니다 .
○ MU 헤드용 ANC 노즐 탈장착 툴 MU 헤드의 노즐 청소시 , ANC 노즐의 탈장착에 사용합니다 .
■ 안전 보호구
명칭 적용
방진 안경
IPA 의 사용 및 에어블로우 툴 등으로 , 에어 블로우를 할 때는 반드시 착용하여 주십시오 .
방진 마스크
보호장갑 윤활제를 도포할 때나 , 진공펌프의 유지 보수시에 착용해 주십시오 .
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작업하기 전에
유지보수 작업은 일반적으로 주전원을 끄고 나서 실행합니다 .
하지만 , 작업에 따라서는 전원을 넣은 채 비상정지 상태에서 실행할 경우가 있습니다 .
그럴 경우 , 충분히 안전을 확인하고 비상정지 버튼을 누른 후 , 작업을 실행하여 주십시오 .
나아가 , 작업내용에 따라 축의 이동과 동작 확인이 필요할 경우에 전원을 투입해서 작업하는 경우가 있습니다 .
이 경우에도 충분히 안전을 확인하고 작업을 실행하여 주십시오 .
단 , 장비를 가동시킬 경우에는 다음 조건을 충족시켜 주십시오 .
■ 동작조건
1. 적정한 에어 공급압에 달하고 있을 것 .
2. 안전커버가 모두 닫혀 있을 것 .
3. 일괄교환 대차를 장착하고 있을 경우 , 모든 대차가 클램프 되어 있을 것 .
4. 노즐 , 기타 장비가 정상상태로 세팅되어 있을 것 .
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요점
본서의 작업순서 등에 기재되어 있는「비상정지 상태를 해제」한다는 것은 , 오퍼레이션 패널의 「EMERGENCY STOP」버튼을
오른쪽으로 돌려서 비상정지 상태를 해제하고「READY」버튼을 눌러서 서보 ON 상태로 한다는 의미입니다.
■ 2 빔 헤드부의 유지보수에 대해서
2 빔의 경우 , 헤드유닛에 접근하기 수월하도록 앞쪽 (A 테이블 ) 의 헤드유닛은 뒤쪽으로 , 뒤쪽 (B 테이블 ) 의 헤드유닛은
앞쪽으로 이동시켜서 작업합니다 .
헤드 유닛부
2빔 사양 (전후 MU헤드의 예）
A
B
A
B
■ 헤드유닛의 유지보수 포인트
장비 정면
<뒤쪽의 헤드를 작업할 경우> <앞쪽의 헤드를 작업할 경우>
장비 정면
헤드유닛의 이동
헤드유닛의 이동
57205-N9-00
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요점
헤드유닛을 이동시킬 경우는,「셋업」화면의 [ 헤드이동 앞 ] 또는 [ 헤드이동 뒤 ] 버튼을 눌러서 이동시키면 편리합니다 .