YSM40R_Mainte_K.pdf - 第38页
1-4 1 ■ 소 모품 ( 옵 션 구입품 ) 명칭 부 품 명칭 부 품 번호 비고 표준 50X 계 노즐 NOZ ZLE, 50 0A/ 5 10A A SSY . K LF-M 87 A0 -A0 X 04 02 전용 NOZ ZLE, 501 A AS SY . KL F - M 7 710 - A 0X 06 03, 1005 NOZ ZLE, 50 2A AS SY . KLF-M77 20 -A 0X 1 6 08, …
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2. 유지보수 작업의 준비
본장에서 지금부터 설명하는 작업 내용은 , 장비의 성능을 유지하기 위해 , 사용하는 도중에 기능이 서서히 떨어
질 가능성이 있는 부품 ( 소모품 ) 등의 교환방법을 중심으로 쓰여 있습니다 . 나아가 , 고장시에는 사용자 레벨에
서 간단히 교환 가능한 부품 ( 교환부품 ) 에 대해서도 똑같이 설명합니다 .
2.1 소 모품
소모품이란 , 사용중에 서서히 기능이 떨어질 가능성이 있는 부품을 말합니다. 본 장비에서는 아래의 부품
이 소모품으로서 준비되어 있으며 , 유지 보수시 필요에 따라 교환합니다.
2.1.1 MU 헤드 유닛
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소모품 ( 동봉품 )
소모품
MU헤드 동봉품
에어 필터
노즐 판스프링
노즐 판스프링 고정용 나사
57100-N9-00
명칭 부품 명칭 부품 번호 비고
노즐 판스프링 LEAF SPRING KG7-M7137-A0X
노즐 판스프링 고정용 나사 SCREW, PAN HEAD 90990-08J016 M2xL2.5
에어 필터 FILTER KLF-M7156-00X
c
주의
본 매뉴얼에 기재되어 있는 부품 ( 부품번호 ) 은 발행시의 것입니다 .
부품번호는 예고없이 변경될 경우가 있으므로 , 발주시에는 반드시 최신 내용인지 확인하여 주십시오 .
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■ 소모품 ( 옵션 구입품 )
명칭 부품 명칭 부품 번호 비고
표준
50X 계 노즐
NOZZLE, 500A/510A ASSY. KLF-M87A0-A0X 0402 전용
NOZZLE, 501A ASSY. KLF-M7710-A0X 0603, 1005
NOZZLE, 502A ASSY. KLF-M7720-A0X 1608, 2012, 3216
NOZZLE, 503A/514A ASSY. KLF-M8740-A0X SOP 등
협인접
51X 계 노즐
NOZZLE, 500A/510A ASSY. KLF-M87A0-A0X 0402 전용
NOZZLE, 511A ASSY. KLF-M8710-A0X 0603 전용
NOZZLE, 512A ASSY. KLF-M8720-A0X 1005, 1608
NOZZLE, 513A ASSY. KLF-M8730-A0X 2012, 3216, 3225
표준
・
협인접
공통노즐
NOZZLE, 504A/515A ASSY. KLF-M8750-A0X QFP, PLCC 등
NOZZLE, 507A/518A ASSY. KLF-M8780-A0X
☐
32mm 이상의 대형부품
NOZZLE, 506A/517A ASSY. KLF-M8770-A0X 원통형상 부품
기타
BODY, NOZZLE 500/510 KLF-M 87A1- 0XX 510A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 511 KLF- M 8711- 0XX 511A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 512 KLF-M8721-0XX 512A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 513 KLF-M8731-0XX 513A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 501 KLF- M 7711- 0XX 501A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 502 KLF-M7721-0XX 502A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 303/314 KHY- M7741-00X 503A/514A 용 노즐 선단부만
BODY, NOZZLE 306/317 KHY-M7771-00X 506A/517A 용 노즐 선단부만
SPRING, NOZZLE KLF-M7713-00X 칩 노즐용
SPRING KHN-M7713-000 503/514A, 506/517A 용
PIN KHN-M7714-000 503/514A, 506/517A 용
CLIP KHN-M7715-001 503/514A, 506/517A 용
O-RING 90990-17J081 504/515A 용 오존 대책품
O-RING 90990-17J082 5 07/518A 용 오존 대책품
c
주의
본 매뉴얼에 기재되어 있는 부품 ( 부품번호 ) 은 발행시의 것입니다 .
부품번호는 예고없이 변경될 경우가 있으므로 , 발주시에는 반드시 최신 내용인지 확인하여 주십시오 .
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2.1.2 RS 헤드 유닛
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소모품 ( 동봉품 )
소모품
RS헤드 동봉품
에어 필터
57101-N9 - 00
명칭 부품 명칭 부품 번호 비고
에어 필터
FILTER KMB-M7070-00X 1개
FILTER 1000PCS. KMB-M3857-01X 1,000 개
■ 소모품 ( 옵션 구입품 )
소모품 (RS헤드)
옵션 구입품
패킹 ASSY
로드1 블로우 밸브
로드2 블로우 밸브
57102-N9-00
명칭 부품 명칭 부품 번호 비고
패킹 ASSY PACKING ASSY KMB-M70SP-00X RS 헤드 진공라인 교환부품
로드 1 블로우 밸브
VALVE KMB-M7055-00X
로드 2 블로우 밸브