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NPM-D 维修篇 4.8 垂直线性照相机的清扫 ( 选购件 ) Page 4-32 EJM1DC-MB-04M-00 4.8 垂直线性照相机的清扫 ( 选购件 ) 使用工具 棉纱布等 需要时间 [min] 1 灰尘附着于投光部、受光部的玻璃上 ，是元件厚度计测错误的主 要原因。请定期清洁玻璃。 1 将伺服开关置于 OFF 。 2 打开安全盖。 3 用棉纱布擦拭垂直线性照相机投光部、 受光部的玻璃。 ∗ 请横向擦拭。 ∗ 清洁玻璃罩时请…

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NPM-D
维修篇
4.7
托盘供料器拉出
(
选购件
)
工作台的清扫
EJM1DC-MB-04M-00 Page 4-31
4.7
托盘供料器拉出
(
选购件
)
工作台的清扫
使用工具
棉纱布等
需要时间
[min]
5
1
用棉纱布等擦拭托盘供料器拉出工作
台的上面
(
全面
)
。
托盘供料器拉出工作台的上面
NPM-D
维修篇
4.8
垂直线性照相机的清扫
(
选购件
)
Page 4-32 EJM1DC-MB-04M-00
4.8
垂直线性照相机的清扫
(
选购件
)
使用工具
棉纱布等
需要时间
[min]
1
灰尘附着于投光部、受光部的玻璃上，是元件厚度计测错误的主要原因。请定期清洁玻璃。
1
将伺服开关置于
OFF
。
2
打开安全盖。
3
用棉纱布擦拭垂直线性照相机投光部、
受光部的玻璃。
∗
请横向擦拭。
∗
清洁玻璃罩时请使用柔软棉纱布。并请注意，
不要损伤玻璃罩的表面。损伤玻璃罩将有可能
导致不能正常计测元件厚度。
4
关闭安全盖。
5
将伺服开关置于
ON
。
投光部玻璃
受光部玻璃
NPM-D
维修篇
4.9
校正治具的清扫
(
选购件
)
EJM1DC-MB-04M-00 Page 4-33
4.9
校正治具的清扫
(
选购件
)
使用工具
吹气毛刷
需要时间
[min]
1
1
将伺服开关置于
OFF
。
2
打开安全盖。
3
用吹气毛刷清扫校正板。
∗
取出校正支架后，放到设备外面。然后用附属
的吹气毛刷除去灰色的丙烯校正板、浅色的丙
烯校正板和玻璃校正板上的灰尘。
∗
清扫后将矫正支架安装回原来的位置。
∗
校正板的表面容易留下划痕，并容易脏污。因
此请注意不要用手直接碰触校正板表面。
4
关闭安全盖。
5
将伺服开关置于
ON
。
校正板