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NPM-D 维修篇 EJM1DC-MB-1 1M-00 Page 1 1-1 11. 消耗零件的更换 在本章中,对消耗零件的更换方法进行说明。

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维修篇
10.4
双式传送带切换为单轨模式
Page 10-24 EJM1DC-MB-10M-00
=
备忘录
=

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维修篇
EJM1DC-MB-11M-00 Page 11-1
11.
消耗零件的更换
在本章中,对消耗零件的更换方法进行说明。

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维修篇
11.1
基板搬送皮带的更换
Page 11-2 EJM1DC-MB-11M-00
11.1
基板搬送皮带的更换
在定期检查中出现异常时,请按照以下顺序交换基板搬送带。
∗ 维护作业时有必要卸下供料器工作台盖和交换台车
(
选购件
)
。
(
“2.2
交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装、
2.3
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
∗ 设备的规格为托盘供料器规格的情况下,在维修作业时需要卸下托盘供料器
(
选项
)
。
(
“
安装篇
1.5
连接托盘供料器
”)
∗ 本作业请在双轨模式下进行。
(
“10.4
双式传送带切换为单轨模式
”)
1.
基板搬送皮带的更换
1
将电源开关置于
OFF
。
2
松开板的螺栓挪动板。
∗
使用六角扳手,松开板上的螺栓,挪动板。
∗
请不要拆下板。
螺栓
板