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NPM-D 维修篇 6.2 真空泵皮带的更换 EJM1DC-MB-06M -00 Page 6-5 6.2 真空泵皮带的更换 如真空压力降低，会造成元件的吸着 错误。 为了稳定真空压力，对真空泵的皮带 要以 3000 小时为目标进行更换。 关于更换皮带事宜，请与本公司的服 务部门联系。