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NPM-D 维修篇 5.10 真空泵过滤器的清扫 Page 5-40 EJM1DC-MB-05M-00 5.10 真空泵过滤器的清扫 使用工具 ― 需要时间 [min] 10 ∗ 作业过程中注意别碰着头。 ∗ 维护作业时有必要卸下 供料器工作台盖和交换台车 ( 选购件 ) 。 ( “2.2 交换台车 ( 选购件 ) 的拆卸和安装、 2.3 供料器工作台盖的拆卸和安装 ”) 1 将主电源置于 OFF 。 • 将主电源开关置于 OFF 后，…
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维修篇
5.9
大型反射板的清扫
(2
吸嘴吸头
(
选购件
))
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10
关闭安全盖，将伺服开关置于
ON
。
11
按操作面板的
+
[
原点复归
]
。
MainteHeadMoving-03C02
11
NPM-D
维修篇
5.10
真空泵过滤器的清扫
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5.10
真空泵过滤器的清扫
使用工具
―
需要时间
[min]
10
∗
作业过程中注意别碰着头。
∗ 维护作业时有必要卸下供料器工作台盖和交换台车
(
选购件
)
。
(
“2.2
交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装、
2.3
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
1
将主电源置于
OFF
。
•
将主电源开关置于
OFF
后，空气供给也会因联
动而停止。
∗
请对主电源开关加锁。
2
打开本机后面的盖。
3
从拆卸来的盖上拆卸过滤器。
∗
请使用气枪清除过滤器的污垢。
∗
请勿使用有机溶剂。
4
在盖上安装过滤器。
盖
过滤器
盖
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维修篇
5.10
真空泵过滤器的清扫
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5
拆卸过滤器装置，取出过滤器的构件。
6
使用气枪，清除过滤器构件上的污垢。
∗
禁止使用有机溶剂。
7
将过滤器装置按原样组装好。
8
安装本机后面的盖。
4Z4C-457P
4Z4C-456P
过滤器的构件
O
型环
吸头
O
型环
过滤器套
圆环
过滤器装置
盖