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NPM-D 维修篇 6.1 主控制器 : 过滤器的清扫 Page 6-4 EJM1DC-MB-06M-00 6 安装主体正面的盖。 7 将电源开关置于 ON 。
NPM-D
维修篇
6.1
主控制器
:
过滤器的清扫
EJM1DC-MB-06M-00 Page 6-3
3
拆卸过滤器。
∗
将夹紧主控制器右上过滤器的拉手捏住，然后
将其往前侧拉出。
4
清扫过滤器。
∗
拆卸过滤器后使用吸尘器等清除灰尘。
5
安装过滤器。
∗
用弹簧夹住过滤器，然后捏住拉手将其推入安
装位置的深处。
主控制器
拉手
过滤器
拉手
弹簧
拉手
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维修篇
6.1
主控制器
:
过滤器的清扫
Page 6-4 EJM1DC-MB-06M-00
6
安装主体正面的盖。
7
将电源开关置于
ON
。
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维修篇
6.2
真空泵皮带的更换
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6.2
真空泵皮带的更换
如真空压力降低，会造成元件的吸着错误。
为了稳定真空压力，对真空泵的皮带要以
3000
小时为目标进行更换。
关于更换皮带事宜，请与本公司的服务部门联系。