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2. 日常行 ってい ただき たい項 目 S-9 2.1 ノズル状態の確認 …………………………………………………………… S-9 2.1.1 ソフトウェアで確認する ………………………………………………………………… S-9 2.2 ノズル板バネの確認 ……………………………………………………… S-11 2.3 バフィング状態の確認 …………………………………………………… S-11 2.4 その他の確認事…
第 3 章 定期的に行っていただきたい項目
1. 毎週または隔週 3-1
1.1 TypeF ノズルの清掃………………………………………………………… 3-1
2. 毎月または隔月 3-5
2.1 FNC ノズルブロックの清掃………………………………………………… 3-5
2.1.1 FNC ノズルブロックの取り外し ………………………………………………………3-5
2.1.2 FNC ノズルブロックの清掃 ……………………………………………………………3-7
2.1.3 FNC ノズルブロックの組み立て …………………………………………………… 3-10
2.1.4 清掃後の N 軸初期位置調整 ………………………………………………………… 3-12
2.2 X、Y、W 軸ボルスクリューの清掃・給油 …………………………… 3-14
2.3 X、Y、W 軸リニアガイドの清掃・給油 ……………………………… 3-16
2.4 エア / ミストフィルターの点検・清掃 ………………………………… 3-17
2.5 カメラレンズの清掃 ……………………………………………………… 3-19
3. 6 ヶ月または 1 年 3-20
3.1 エジェクターフィルターの清掃・交換 ………………………………… 3-20
3.2 スプラインシャフトの清掃 ……………………………………………… 3-21
3.2.1 ノズルブロックとエアプラグの取り外し…………………………………………… 3-21
3.2.2 スプラインの洗浄……………………………………………………………………… 3-22
3.2.3 ノズルブロックとエアプラグの組み立て…………………………………………… 3-24
3.3 タレット部エア経路の清掃 ……………………………………………… 3-26
第 4 章 消耗品の交換方法
1. ノズル板バネの交換 4-1
2. エアジョイントの交換 4-2
3. エジェクターバルブの交換 4-3
4. フィーダーバルブの交換 4-4
5. 基板搬送部の清掃とベルト交換 4-5
6. クラッチ・ロックピンバルブの交換 4-6
YV88Xg-S メンテナンス
1. メンテナンス作業の準備 S-1
1.1 消耗品と交換部品( 故障時 )………………………………………………… S-1
1.1.1 消耗品 ………………………………………………………………………………S-1
1.1.2 交換部品( 故障時 ) ………………………………………………………………………S-3
1.2 メンテナンスツール ………………………………………………………… S-4
1.2.1 クリーニングツール………………………………………………………………………S-4
1.2.2 給油ツール・グリス………………………………………………………………………S-6
1.3 必要工具 ……………………………………………………………………… S-8
2. 日常行っていただきたい項目 S-9
2.1 ノズル状態の確認 …………………………………………………………… S-9
2.1.1 ソフトウェアで確認する…………………………………………………………………S-9
2.2 ノズル板バネの確認 ……………………………………………………… S-11
2.3 バフィング状態の確認 …………………………………………………… S-11
2.4 その他の確認事項 ………………………………………………………… S-11
3. 定期的に行っていただきたい項目 S-12
3.1 毎週または隔週 …………………………………………………………… S-12
3.1.1 タイプ 61A,62A ノズルの清掃 …………………………………………………… S-12
3.1.2 タイプ 63A,66A ノズルの清掃……………………………………………………… S-14
3.1.3 タイプ 64A,65A ノズルの清掃……………………………………………………… S-15
3.2 毎月または隔月 …………………………………………………………… S-16
3.3 6 ヶ月または 1 年 ………………………………………………………… S-17
3.3.1 エジェクターフィルターの清掃と交換……………………………………………… S-17
3.3.2 スプラインシャフトの清掃…………………………………………………………… S-18
4. 消耗品の交換方法 S-19
4.1 ノズル板バネの交換 ……………………………………………………… S-19
4.2 エジェクターバルブの交換 ……………………………………………… S-20
4.3 その他の消耗品の交換方法 ……………………………………………… S-21
