N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第117页
EJM8DC-MB-03E-0 1 NPM-DX 3-6 -2 真空泵 触摸屏 XY 单元 后侧 触摸屏 真空泵 X 轴线性导轨 电缆支架 Y 轴线性导轨 电缆支架
EJM8DC-MB-03E-01
NPM-DX
各单元定期检查部位 1
＜各类型共同点＞
各种压力表
3-6-1
工程师手册
3-6
关于设定值和检查方法的细节，请参考操作手册 “6-1-1 压力的检查”。
真空泵供给压
(用于B 基台的)
主气压
真空破坏压
(用于B 基台的)
1
真空泵供给压
(用于A 基台的)
选购件用
清扫吹气压
真空破坏压
(用于A 基台的)
1
3
2
2
4
1
EJM8DC-MB-03E-01
NPM-DX
3-6-2
真空泵
触摸屏
XY单元
后侧
触摸屏
真空泵
X轴线性导轨
电缆支架
Y轴线性导轨
电缆支架
EJM8DC-MB-03E-01
NPM-DX
基板传送带
各单元定期检查部位 2
＜各类型共同点＞
3-6-3
A/B基台 前后侧
工程师手册
3-6
基板传送皮带
基板检测传感器
基板支撑块
※基板检测传感器在轨道1、轨道2的投光侧、受光侧各
有6个。
基板传送皮带
线性导轨
宽度调整滚珠丝杠
宽度调整滚珠丝杠
线性导轨