N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第133页

EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX 4-1 -2 向基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨上供给润滑脂 7 顺序 8 轨道 2 右侧 轨道 2 左侧 线 性导轨 * 2) 宽度调整滚珠丝杠 * 1) ( 润滑脂注入口 ) 线 性导轨 * 2) 宽度调整滚珠丝杠 * 1) ( 润滑脂注入口 ) 轨道 1 右侧 轨道 1 左侧 宽度调整滚珠丝杠 * 1) ( 润滑脂注入口 ) 宽度调整滚珠丝杠 * 1) ( 润…

100%1 / 642
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
ACTIVATION
卸下交换台车
(→P.2-4)
工程师手册
4-1
基板传送带的润滑脂添加 1
4-1-1
1
5
将供料器工作台盖
倒向内侧 (→P.2-5)
2
●事先确认不存在支撑销。
3
4
6
确认提示
●不要倚靠在供料器工作台盖
上，也不要在上面放置物品。
ACTIVATION
OFF SERVO ON
对基板传送带的润滑脂添加方法进行说明。
使用工具: 润滑脂枪 所需时间: 20 分钟
●对基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨添加润滑脂。
●轨道1、轨道2都是从前侧实施作业。
●对A基台、B基台两者实施加润滑脂的作业。
●建议在双轨模式下进行作业。(→『工程师手册』P.9-2-1)
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
4-1-2
向基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨上供给润滑脂
7
顺序
8
轨道2右侧
轨道2左侧
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
轨道1右侧
轨道1左侧
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
*1)
滚珠丝杠的情形
●从润滑脂注入口(可动侧轨道) ，使用润滑脂枪添加。
各压出1次(约0.9 cm
3
)
●使用润滑脂: LCG100
*2)
线型导轨的情形
●在线型导轨的附近直接添加润滑脂。
目标的涂抹量是X轴约 0.5 cm
3
、Y轴约 1 cm
3
。
●使用润滑脂: LCG100
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
OFF SERVO ON
工程师手册
4-1
基板传送带的润滑脂添加 2
4-1-3
15
STOP
14
13
󲗼交换台车
(→P.2-4)
11
12
轨道󲵀󰀠 A / B
8
󲗼供料器工作台
盖(→P.2-5)
10
9
ACTIVATION
ACTIVATION
●事先确认基板支撑上不存在支
撑销。
●使󰅣送传送带的宽度调整󲲫󲴕󱰤
󰒜󲴋5󰡘上。
确认提示