N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第131页
4 定期检查 每 560 小时保养
EJM8DC-MB-03E-01
NPM-DX
3-7-3
4 定期检查
每560小时保养
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
ACTIVATION
卸下交换台车
(→P.2-4)
工程师手册
4-1
基板传送带的润滑脂添加 1
4-1-1
1
5
将供料器工作台盖
倒向内侧 (→P.2-5)
2
●事先确认不存在支撑销。
3
4
6
确认提示
●不要倚靠在供料器工作台盖
上，也不要在上面放置物品。
ACTIVATION
OFF SERVO ON
对基板传送带的润滑脂添加方法进行说明。
使用工具: 润滑脂枪 所需时间: 20 分钟
●对基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨添加润滑脂。
●轨道1、轨道2都是从前侧实施作业。
●对A基台、B基台两者实施加润滑脂的作业。
●建议在双轨模式下进行作业。(→『工程师手册』P.9-2-1)