N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第176页

EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX OFF SERVO ON 基板 󰗷 󰪂 传  器的 󰬼 2 4- 10 -3 工程师手册 4-10 󳊶传送带 󲴐󲼃对基板 󰗷󰪂传器器的󰬼 方法进行说明 󲶺 使用工具 : 󰘀󰘉 所 需时间 : 5 分 钟 1 卸下交换台车 (→ P.2 - 4) 2 3 将传送带宽度调整  150 mm (→ 『 󰈄作手册 』 P.3 - 3-4) ●…

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EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
4-10-2
4
6
●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有12个
5
将供料器工作台盖
倒向内侧。(→P.2-
5)
清扫基板检测传感器部
●使用棉棒。
A基台 B基台
基板检测传感器
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NPM-DX
OFF SERVO ON
基板󰗷󰪂传器的󰬼 2
4-10-3
工程师手册
4-10
󳊶传送带
󲴐󲼃对基板󰗷󰪂传器器的󰬼方法进行说明󲶺
使用工具: 󰘀󰘉 所需时间: 5 分钟
1
卸下交换台车
(→P.2-4)
2
3
将传送带宽度调整
150 mm
(→『󰈄作手册』P.3-3-4)
●󰐫󰑀󰈄作
10
9
󲗼交换台车
(→P.2-4)
8
7
󲗼供料器工作台
OFF SERVO ON
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NPM-DX
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5
将供料器工作台盖
倒向内侧。
●不要倚靠在供料器工作台盖
上，也不要在上面放置物品。
6
󰬼基板󰗷󰪂传器󲸟
●基板󰗷󰪂传器 (󲵆󲳾)
轨道1、2的侧、侧󰑀1
●使用󰘀󰘉。
轨道2
基板󰗷󰪂传器
(侧)
轨道2
基板󰗷󰪂传器
(侧)
轨道1
基板󰗷󰪂传器
(侧)
轨道1
基板󰗷󰪂传器
(侧)
在A基台侧󲣵置󳊶传送带时的、
传器的置