N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第369页
NPM-DX EJM8DC-MB-11E-0 1 搬送 11 - 2 使用叉式升降机、平板推车时 设备搬送时，请充分注意。交换台车 连接在主体设备时，请在搬送前 拆卸下来。 使用起重机时 请与专业的搬运公司商量。 ●有眼螺栓是要在搬运台等的上面固 定时使用的。另外， 固定的绳子与水平线的角度 θ 应在 45 度以内。 ●有眼螺栓不能用于起吊。 ●搬运后保管有眼螺栓。 注意 工程师手册 11 - 2 FRONT SIDE RIGHT SI…
NPM-DX
EJM8DC-MB-11E-01
设置前
■初级电源
11-1
工程师手册
11-1
通常使用
电源
3相AC 200/220 ±10 V
380/400/420/480 ±20 V
频率
50 / 60 Hz ±5 %
额定容量
5.0 kVA
确认设置场所
确认初级电源、空气源的规格
● “外形尺寸”(→『操作手册』P.8-1-3)、“高度”(→『操作手册』P.8-1-1)
不会结露的环境
●温度:10~35C
●湿度:25~75 %RH
可以进行维修保养
作业的充分空间
按照配置图,在地面
上画好基准线
平坦的
混凝土地面
●设置场所的耐负荷:
4903 N/m
2
以上
水平场所
●基板搬送高度:900～920mm
(单体、生产线连接)
■空气源
●必须从工厂所管理的电源设备给予提供。
(公共低电压供电系统:请勿直接连接到商用电源)
●使用被空气吹风机清洁过的空气。
●气压: 0.5～0.8 MPa
空气供给后，用调节器把气压调节在
0.5～0.55 MPa。
●空气供给量: 200 L/min(A.N.R.)
●连接管子的接入口的尺寸: 3/8
NPM-DX
EJM8DC-MB-11E-01
搬送
11-2
使用叉式升降机、平板推车时
设备搬送时，请充分注意。交换台车连接在主体设备时，请在搬送前拆卸下来。
使用起重机时
请与专业的搬运公司商量。
●有眼螺栓是要在搬运台等的上面固定时使用的。另外，
固定的绳子与水平线的角度θ应在45度以内。
●有眼螺栓不能用于起吊。
●搬运后保管有眼螺栓。
注意
工程师手册
11-2
FRONT SIDE RIGHT SIDE
搬运台等
θ
有眼螺栓
(4处)
固定的绳子
MASS:3,600 kg
CENTER
使用工具: 扳手46 mm (2个)
●叉子从侧面插入。
平板推车或者叉式升降机
■叉子的插入位置
螺母
叉子的插入位置
叉子
调整螺栓
拧转调整螺栓，直到设备下方高出叉子。
把叉子从右侧插入设备的下面。
● 2 个的叉子的中心按照标签上所示▼调整。
把叉子升起，把设备抬高。
搬移到适当的设置场所。
1
2
3
4
NPM-DX
EJM8DC-MB-11E-01
交换台车
(选购件)
11-3-1
设置 1
工程师手册
11-3
3736
868 657 686
868
1868
1868
657
1
基板搬送基准
基板搬送基准
FRONT SIDE
REAR SIDE
使用工具: 钢制卷尺、六角扳手 (3 mm)、曲尺、水平测量器、扳手 2个 (46 mm)
注意
设置
按照地面上所画的基准线暂时放置，然后调整设置位置。
●为了前后的设备之间能够顺利进行基板传送，调整方向和高度。
●和邻接的设备之间的间隔要保持在5～10 mm以下之间。
●设备的下面如果要放置导管，需要与设备之间空开40 mm以上的距离
●各图的尺寸为最小空间。(单位: mm)
●设置本机器请按照专门人员的指示进行操作。
●有关再设置情况请向本公司咨询。
■设置图
●前侧: 交换台车 (选购件)
●后侧: 交换台车 (选购件)
交换台车
(选购件)