N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第118页

EJM8DC-MB-03E-0 1 NPM-DX 基板传送带 各单元定期检查部位 2 ＜各类型共同点＞ 3-6 -3 A/B 基台 前后侧 工程师手册 3-6 基板传送皮带 基板检测传感器 基板支撑块 ※ 基板检测传感器在轨道 1 、轨道 2 的 投光侧、受光侧各 有 6 个。 基板传送皮带 线性导轨 宽度调整滚珠丝杠 宽度调整滚珠丝杠 线性导轨