N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第368页
NPM-DX EJM8DC-MB-11E-0 1 设置前 ■ 初级电源 11 - 1 工程师手册 11 - 1 通常使用 电源 3 相 AC 200/220 ± 10 V 380/400/420/480 ± 20 V 频率 50 / 60 Hz ± 5 % 额定容量 5.0 kVA 确认设置场所 确认初级电源、空气源的规格 ● “外形尺寸” (→ 『操作 手册』 P.8-1-3) 、“高度” (→ 『操作手册』 P.8-1-1) 不会结…
11 设置
NPM-DX
EJM8DC-MB-11E-01
设置前
■初级电源
11-1
工程师手册
11-1
通常使用
电源
3相AC 200/220 ±10 V
380/400/420/480 ±20 V
频率
50 / 60 Hz ±5 %
额定容量
5.0 kVA
确认设置场所
确认初级电源、空气源的规格
● “外形尺寸”(→『操作手册』P.8-1-3)、“高度”(→『操作手册』P.8-1-1)
不会结露的环境
●温度:10~35C
●湿度:25~75 %RH
可以进行维修保养
作业的充分空间
按照配置图,在地面
上画好基准线
平坦的
混凝土地面
●设置场所的耐负荷:
4903 N/m
2
以上
水平场所
●基板搬送高度:900～920mm
(单体、生产线连接)
■空气源
●必须从工厂所管理的电源设备给予提供。
(公共低电压供电系统:请勿直接连接到商用电源)
●使用被空气吹风机清洁过的空气。
●气压: 0.5～0.8 MPa
空气供给后，用调节器把气压调节在
0.5～0.55 MPa。
●空气供给量: 200 L/min(A.N.R.)
●连接管子的接入口的尺寸: 3/8
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EJM8DC-MB-11E-01
搬送
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使用叉式升降机、平板推车时
设备搬送时，请充分注意。交换台车连接在主体设备时，请在搬送前拆卸下来。
使用起重机时
请与专业的搬运公司商量。
●有眼螺栓是要在搬运台等的上面固定时使用的。另外，
固定的绳子与水平线的角度θ应在45度以内。
●有眼螺栓不能用于起吊。
●搬运后保管有眼螺栓。
注意
工程师手册
11-2
FRONT SIDE RIGHT SIDE
搬运台等
θ
有眼螺栓
(4处)
固定的绳子
MASS:3,600 kg
CENTER
使用工具: 扳手46 mm (2个)
●叉子从侧面插入。
平板推车或者叉式升降机
■叉子的插入位置
螺母
叉子的插入位置
叉子
调整螺栓
拧转调整螺栓，直到设备下方高出叉子。
把叉子从右侧插入设备的下面。
● 2 个的叉子的中心按照标签上所示▼调整。
把叉子升起，把设备抬高。
搬移到适当的设置场所。
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