N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第132页
EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX ACTIV A TION 卸下交换台车 (→P.2 - 4) 工程师手册 4-1 基板 传 送 带 的 润滑 脂添 加 1 4-1 -1 1 5 将供料器工作台盖 倒向内侧 (→ P.2 - 5) 2 ● 事先确认不存在支撑 销。 3 4 6 确认提示 ●不要倚靠在供 料器工作台盖 上，也不要在上 面放置物品。 ACTIV A TION OFF SERVO ON 对基板传…
4 定期检查
每560小时保养
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
ACTIVATION
卸下交换台车
(→P.2-4)
工程师手册
4-1
基板传送带的润滑脂添加 1
4-1-1
1
5
将供料器工作台盖
倒向内侧 (→P.2-5)
2
●事先确认不存在支撑销。
3
4
6
确认提示
●不要倚靠在供料器工作台盖
上，也不要在上面放置物品。
ACTIVATION
OFF SERVO ON
对基板传送带的润滑脂添加方法进行说明。
使用工具: 润滑脂枪 所需时间: 20 分钟
●对基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨添加润滑脂。
●轨道1、轨道2都是从前侧实施作业。
●对A基台、B基台两者实施加润滑脂的作业。
●建议在双轨模式下进行作业。(→『工程师手册』P.9-2-1)
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
4-1-2
向基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨上供给润滑脂
7
顺序
8
轨道2右侧
轨道2左侧
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
轨道1右侧
轨道1左侧
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
*1)
滚珠丝杠的情形
●从润滑脂注入口(可动侧轨道) ，使用润滑脂枪添加。
各压出1次(约0.9 cm
3
)
●使用润滑脂: LCG100
*2)
线型导轨的情形
●在线型导轨的附近直接添加润滑脂。
目标的涂抹量是X轴约 0.5 cm
3
、Y轴约 1 cm
3
。
●使用润滑脂: LCG100