N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第173页
EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX 4-9 -2 1 2 3 3 前侧盖,确认 [AF 盖 ] 的示是从 4 侧盖,确认 [AR 盖 ] 的示是从 1 2 4 ( 盖 ) 的 <A 基台的确认 > <B 基台的确认 > 5 5 对 ( 盖 …

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NPM-DX
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安全开关的检查
1
3
4-9-1
工程师手册
4-9
紧急停止开关的检查
2
对紧急停止开关的检查方法进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 2 分钟
●请事先执行原点复归操作。
按前侧的紧急停止开关。
请确认画面已经过渡到左侧画面。
按后侧的紧急停止开关,并确认画面
与前侧相同地过渡到新画面。
请确认画面已经过渡到左侧画面。

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NPM-DX
4-9-2
1
2
3
3
前侧盖,确认
[AF 盖]
的示是从
4
侧盖,确认
[AR 盖]
的示是从
1
2
4
(盖) 的
<A基台的确认>
<B基台的确认>
5
5
对(盖)的方法进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 2 分钟
● ,是从前侧进行, 是从的侧进行作。
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(示确认面示)
要4
(#4) 1、 4。
用A基台的确认。

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NPM-DX
OFF SERVO ON
基板传器的 1
使用工具: 所需时间: 5 分钟
4-10-1
1
卸下交换台车
(→P.2-4)
2
3
(→『作手册』P.3-3-4)
基板传送带
对基板传器的方法进行说明。 下供料器作业。(→ P.10-8)
●作
工程师手册
4-10
10
9
交换台车
(→P.2-4)
8
7
供料器工作台
盖
(→P.2-5)
OFF SERVO ON
将传送带宽度调整
150 mm