N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第134页

EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX OFF SERVO ON 工程师手册 4-1 基板 传 送 带 的 润滑 脂添 加 2 4-1 -3 15 STOP 14 13 󲗼交换台车 (→ P.2 - 4) 11 12  轨道󲵀󰀠 A / B 8 󲗼供料器工作台 盖 (→ P.2 - 5) 10 9 ACTIV A TION ACTIV A TION ●事先确认基板 支撑上不存 在支 撑销 。 ●…

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NPM-DX
4-1-2
向基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨上供给润滑脂
7
顺序
8
轨道2右侧
轨道2左侧
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
轨道1右侧
轨道1左侧
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
*1)
滚珠丝杠的情形
●从润滑脂注入口(可动侧轨道) ，使用润滑脂枪添加。
各压出1次(约0.9 cm
3
)
●使用润滑脂: LCG100
*2)
线型导轨的情形
●在线型导轨的附近直接添加润滑脂。
目标的涂抹量是X轴约 0.5 cm
3
、Y轴约 1 cm
3
。
●使用润滑脂: LCG100
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OFF SERVO ON
工程师手册
4-1
基板传送带的润滑脂添加 2
4-1-3
15
STOP
14
13
󲗼交换台车
(→P.2-4)
11
12
轨道󲵀󰀠 A / B
8
󲗼供料器工作台
盖(→P.2-5)
10
9
ACTIVATION
ACTIVATION
●事先确认基板支撑上不存在支
撑销。
●使󰅣送传送带的宽度调整󲲫󲴕󱰤
󰒜󲴋5󰡘上。
确认提示
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NPM-DX
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