N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第170页
EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX 7 器 的 4-8 -1 下侧的交 台车 ●卸方法 交换台车时 (→ P.2 - 4) 8 工程师手册 4-8 9 3 对器 的方法进 行说明。 使用工具 : 手 所 需时间 : 30 分钟 ●作业程， 不要 。 置 OFF ，上 ● 丝 (…
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NPM-DX
OFF SERVO ON
4-7-2
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交换台车
(→P.2-4)
从卸下
●下。
用
板
板
将
上
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NPM-DX
7
器的
4-8-1
下侧的交
台车
●卸方法
交换台车时
(→P.2-4)
8
工程师手册
4-8
9
3
对器的方法进行说明。
使用工具: 手 所需时间: 30 分钟
●作业程，不要。
置
OFF，上
●丝 (8 )
盖
卸下盖
盖
盖
●丝 (8)
2
1
侧的交
台车
●方法
・交换台车时
(→P.2-4)
ON
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4-8-2
从安全盖卸下过
滤器进行清扫
●使用气枪。
●请勿使用有机溶剂。
过滤器
把过滤器安装在
安全盖上
过滤器
取出过滤器芯进行清扫
①分解过滤器单元。
②使用气枪，清除过滤器芯的
灰尘。
(请勿使用有机溶剂)
③把过滤器单元组装成原样。
贴装头
过滤器芯
O型环
过滤器盒
圆环
真空泵