N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第171页
EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX 4 5 6 4-8 -2 从安全盖卸下过 滤器进行清扫 ● 使用气枪 。 ● 请勿使用有机溶剂 。 过滤器 把过滤器安装在 安全盖上 过滤器 取出过滤器芯进行清扫 ① 分解过滤器单元 。 ② 使用气枪，清除过滤 器 芯的 灰尘 。 ( 请勿使用有机溶剂 ) ③ 把过滤器单元组装成 原样 。 贴装头 过滤器芯 O 型环 过滤器盒 圆环 真空泵
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
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器的
4-8-1
下侧的交
台车
●卸方法
交换台车时
(→P.2-4)
8
工程师手册
4-8
9
3
对器的方法进行说明。
使用工具: 手 所需时间: 30 分钟
●作业程，不要。
置
OFF，上
●丝 (8 )
盖
卸下盖
盖
盖
●丝 (8)
2
1
侧的交
台车
●方法
・交换台车时
(→P.2-4)
ON
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NPM-DX
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5
6
4-8-2
从安全盖卸下过
滤器进行清扫
●使用气枪。
●请勿使用有机溶剂。
过滤器
把过滤器安装在
安全盖上
过滤器
取出过滤器芯进行清扫
①分解过滤器单元。
②使用气枪，清除过滤器芯的
灰尘。
(请勿使用有机溶剂)
③把过滤器单元组装成原样。
贴装头
过滤器芯
O型环
过滤器盒
圆环
真空泵
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NPM-DX
+
安全开关的检查
1
3
4-9-1
工程师手册
4-9
紧急停止开关的检查
2
对紧急停止开关的检查方法进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 2 分钟
●请事先执行原点复归操作。
按前侧的紧急停止开关。
请确认画面已经过渡到左侧画面。
按后侧的紧急停止开关，并确认画面
与前侧相同地过渡到新画面。
请确认画面已经过渡到左侧画面。