N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第120页
EJM8DC-MB-03E-0 1 NPM-DX 各单元定期检查部位 3 <各类型共同点> 3-6 -5 工程师手册 3-6 交换台车 编带切屑回收箱 多功能识别照相机 V2 玻璃盖 A/B 基台 前后侧 A/B 基台 前后侧 供料器工作台 连接器

EJM8DC-MB-03E-01
NPM-DX
3-6-4
传送带L、传送带R
■传送带L(N-CONL)、传送带R(N-CONR)
前后侧
延长传送带
前后侧
■延长传送带
基板传送皮带
基板检测传感器
滚珠花键
宽度调整滚珠丝杠
基板传送皮带
滚珠花键
宽度调整线性轴
基板检测传感器
基板传送皮带

EJM8DC-MB-03E-01
NPM-DX
各单元定期检查部位 3
<各类型共同点>
3-6-5
工程师手册
3-6
交换台车
编带切屑回收箱
多功能识别照相机V2
玻璃盖
A/B基台 前后侧
A/B基台 前后侧
供料器工作台
连接器

EJM8DC-MB-03E-01
NPM-DX
3-6-6
主控制器 / 电源单元1
过滤器