N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第135页
EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX 4-1 -4

EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
OFF SERVO ON
工程师手册
4-1
基板传送带的润滑脂添加 2
4-1-3
15
STOP
14
13
交换台车
(→P.2-4)
11
12
轨道 A / B
8
供料器工作台
盖(→P.2-5)
10
9
ACTIVATION
ACTIVATION
●事先确认基板支撑上不存在支
撑销。
●使送传送带的宽度调整
5上。
确认提示
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
4-1-4

EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
工程师手册
4-2
传送带L、传送带R()的润
滑脂添加 1
4-2-1
1
2
3
4
ACTIVATION
ACTIVATION
OFF SERVO ON
●事先确认不存在支撑销。
确认提示
传送带的上面
盖
在对传送带L、传送带R的添加润滑脂的方法进行说明。
使用工具: 润滑脂枪 所需时间: 10 分钟
●对基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性、滚珠添加润滑脂。
●从传送带、传送带的NPM-DX进行作
●建议在双轨模式下进行作业。(→『工程师手册』P.9-2-1)