N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第160页
EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX 工程师手册 4 - 6 传送带的检查 2 4-6 -3 延长传送带的皮带 的检查 ●检查步骤除了 步骤⑦之外都 与基板传送带 相同。步骤 ⑦前 后的步骤请 按照 基板 传送带的步骤实施。 7 ●用滚轮转动皮 带，如果发现 损伤、灰尘附 着，或发生磨 损、起 毛就进行更换。 ● 各轨道上有 6 条 。 ( 参照下图 ) ●皮带位置 这里对 A 基台侧有 延长传送带时 的检查…
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NPM-DX
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将供料器工作台盖
倒向内侧。
(→P.2-5)
安装供料器工作台
盖 (→P.2-5)
检查皮带
把X轴往内推
皮带
滚轮
●用滚轮转动皮带，如果发现损伤、灰尘附着，或发生磨损、起毛
就进行更换。
●各轨道上有6 条。(参照下图)
可动侧
固定侧
可动侧
固定侧
轨道1侧
轨道2侧
4-6-2
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NPM-DX
工程师手册
4-6
传送带的检查 2
4-6-3
延长传送带的皮带的检查
●检查步骤除了步骤⑦之外都与基板传送带相同。步骤⑦前后的步骤请按照基板传送带的步骤实施。
7
●用滚轮转动皮带，如果发现损伤、灰尘附着，或发生磨损、起
毛就进行更换。
●各轨道上有6 条。(参照下图)
●皮带位置
这里对A基台侧有延长传送带时的检查方法进行说明。
P. 4 -6-2
步骤
之后
6
至P. 4 -6
-2
步骤
8
检查皮带
可动侧
固定侧
可动侧
固定侧
轨道1侧
轨道2侧
滚轮
皮带
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