N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第174页

EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX OFF SERVO ON 基板 󰗷 󰪂 传  器的 󰬼 1 使用工具 : 󰘀󰘉 所 需时间 : 5 分 钟 4- 10 -1 1 卸下交换台车 (→ P.2 - 4) 2 3 (→ 『 󰈄作手册 』 P.3 - 3-4) 基板 传送带 对 基板 󰗷󰪂 传器的󰬼 方法进行说明 。 󲤮下󱐏供料器 作业 。 (→ P.10 - 8) ● …

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NPM-DX
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1
2
3
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前侧盖，确认
󲺊[AF 盖]
的󰍵示󳗓󱾩是从󲈔󱾩󰶧󱾩
4
侧盖，确认
󲺊[AR 盖]
的󰍵示󳗓󱾩是从󲈔󱾩󰶧󱾩
1
2
4
 (盖) 的󰗷󰔜
<A基台的确认>
<B基台的确认>
5
5
对(盖)的󰗷󰔜方法进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 2 分钟
●󳖱 󱼪 ，是从󲣵前侧进行，󳖱 是从󲣵的侧进行󰈄作。
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(󰍵示󲳊确认󱉲面󰍵示)
要󰁀4󰡘
(#4) 󰁀1󰡘、 󰁀4󰡘。
用A基台󰕮的󰢜󳟛确认。
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NPM-DX
OFF SERVO ON
基板󰗷󰪂传器的󰬼 1
使用工具: 󰘀󰘉 所需时间: 5 分钟
4-10-1
1
卸下交换台车
(→P.2-4)
2
3
(→『󰈄作手册』P.3-3-4)
基板传送带
对基板󰗷󰪂传器的󰬼方法进行说明。 󲤮下󱐏供料器作业。(→ P.10-8)
●󰐫󰑀󰈄作
工程师手册
4-10
10
9
󲗼交换台车
(→P.2-4)
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󲗼供料器工作台
盖
(→P.2-5)
OFF SERVO ON
将传送带宽度调整
150 mm
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6
●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有12个
5
将供料器工作台盖
倒向内侧。(→P.2-
5)
清扫基板检测传感器部
●使用棉棒。
A基台 B基台
基板检测传感器