N7201A643C08(1)NPM-DX工程师手册.pdf - 第161页

EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX 4-6 -4

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EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
工程师手册
4-6
传送带的检查 2
4-6-3
延长传送带的皮带的检查
●检查步骤除了步骤⑦之外都与基板传送带相同。步骤⑦前后的步骤请按照基板传送带的步骤实施。
7
●用滚轮转动皮带，如果发现损伤、灰尘附着，或发生磨损、起
毛就进行更换。
●各轨道上有6 条。(参照下图)
●皮带位置
这里对A基台侧有延长传送带时的检查方法进行说明。
P. 4 -6-2
步骤
之后
6
至P. 4 -6
-2
步骤
8
检查皮带
可动侧
固定侧
可动侧
固定侧
轨道1侧
轨道2侧
滚轮
皮带
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
4-6-4
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
OFF SERVO ON
传送带L、传送带R的󱏥带的󰗷󰔜
工程师手册
4-6
传送带的󰗷󰔜 3
4-6-5
1
2
(→『󰈄作手册』P.3-3-4)
5
6
3
OFF SERVO ON
将传送带宽度调
整150 mm (
󰐫󰑀󰈄作)
传送带的上面
盖
󳌤传送带的上面
盖
●󰢜󳟛的󰑄󲤮󰈄作󱛲所󰗷󰔜的传送带L、R󲴈的󰑄。