晶圆测试说明书Cascade-11861-6-Manual.pdf - 第11页
Safety Standards • ix . VORSICHT – Nic ht Beruehren !! DANGER – Risque de se coincer les doigts - T enir les mains éloignées de cet endroit DANGER – Pinch Point - Keep Hands Clear VORSICHT – bewegte T eile (Chuck) - nich…
viii
•
Summit 11K/12K Probe Station User’s Guide
MICROCHAMBER INTERLOCK
WARNING
The interlock mechanism for the load door is managed by the Nucleus system
software. Every posible action has been taken to ensure that the stage will stop
correctly. Nevertheless, there is still a chance that the stage will not stop
immediately when the door is opened. When reaching into the stage area, use
caution to avoid personal injury.
This setting controls the actions of the stage when the load door of the station is
opened. Possible values include:
• None — the interlock switch has no effect.
• Warn — when the load door is open, a warning message will be displayed but
the stage will still be able to move as normal.
• Stop Stage — when the load door is open, a warning message will be displayed
and the stage will not be allowed to move. If the door opens during a move, the
move will be interrupted and an error will be generated. When in this mode, an
extra icon is displayed on the status bar.
Safety Labels-Sicherheits Schilder-Etiquettes de sécurité
DANGER LABELS—GEFAHR-SYMBOLE—ETIQUETTES <<DANGER>>
Danger labels warn of immediate danger that could result in severe injury or
death.
GEFAHR-Symbole warnen vor Gefahren, die zu schweren Verletzungen oder
zum Tode fuehren koennen
Les étiquettes de danger préviennent sur la nature de divers dangers qui
pourraient entrainer des blessures sérieuses ou mortelles
.
VORSICHT – Hochspannung !!
DANGER – Haute Tension
DANGER – High Voltage
Safety Standards
•
ix
.
VORSICHT – Nicht Beruehren !!
DANGER – Risque de se coincer
les doigts - Tenir les mains
éloignées de cet endroit
DANGER – Pinch Point - Keep
Hands Clear
VORSICHT – bewegte Teile
(Chuck) - nicht beruehren
DANGER – Risque de se coincer
les doigts - Etages/plateau
peuvent se deplacer sans
avertissement - Tenir les mains
éloingnées de cet endroit
DANGER – Pinch Point - Stage/
Chuck Moves Unexpectedly -
Keep Hand Clear
ACHTUNG – gefaehrliche
Laserstrahlung wenn offen oder
inaktive Interlocks – nicht in den
Strahlengang sehen
DANGER – Présence de faisceau
laser visible et invisible lorsque
l'appareil est ouvert et le
verrouillage de sécurité est
désactivé. Eviter toute exposition
aux rayons.
DANGER – Visible and invisible
laser radiation when open and
interlocks defeated. Avoid
exposure to beam.
x
•
Summit 11K/12K Probe Station User’s Guide
WARNING LABELS—WARN-SYMBOLE—ETIQUETTES D'AVERTISSEMENT
Warning labels warn of a potential severe injury.
WARN-Symbole warnen vor moeglichen schweren Verletzungen.
Les étiquettes «avertissement» préviennent le personnel opérateur sur certains
risques pouvant causer des blessures sévères
VORSICHT – Verletzungsgefahr –
von bewegten Teilen (Testkopf-
Manipulator) fernhalten
DANGER – Risque de se coincer
les doigts - Blessures corporèles
possible - Se tenir éloigné de cet
endroit lorsque le bras articulé
est en mouvement.
DANGER – Pinch Point - Personal
Injury Possible - Stand Clear
when test head manipulator is in
motion
VORSICHT – heisse Oberflaeche
– Verbrennungsgefahr – nicht
beruehren
Attention - Surface du plateau
chaud - Risque de brûlure
sérieuses - Tenir les mains
éloingnées de cet endroit.
WARNING — Hot Surface On
Chuck - Severe Burns Possible
-Keep Hands Clear