SM481(L)_Admin.pdf - 第401页
14-45 Machine Calibration 备 注 Fiducial Camera Offset (FOV 7.5) 的校正基准值如下。 Gantry 1 Offset X : -243.0mm ~ -241.0mm Offset Y : -1.0mm ~ 1.0mm 14.3.7.2. Head Z / R Offset Calibration PCB 顶面到 Z 轴 Home 的距离 是机械设置的。 Z Offset 校…
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6. 自动执行校正后结束校正则如下图显示结果值。要适用其校正值请点击<更新>
按钮。
7. 显示”下一步从头部移动吸嘴1。点 击 [下一步]向下移动头部。移动后，手动移
出吸嘴。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架上手动除去Calibration Tool请点击 <
下个> 按钮。
为了手动清除插入到Head1号吸嘴支撑架的吸嘴，请点击< 下个>按钮。之后清
除ANC 上的校正 Tool。
测量结果可在Head Offset 对话框中确认。
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Machine Calibration
备 注 Fiducial Camera Offset (FOV 7.5)的校正基准值如下。
Gantry 1
Offset X : -243.0mm ~ -241.0mm
Offset Y : -1.0mm ~ 1.0mm
14.3.7.2. Head Z / R Offset Calibration
PCB顶面到Z 轴Home的距离是机械设置的。Z Offset 校正为以PCB 顶面基准，利用
空压测量对此距离的Offset。
R Offset 校正为以吸嘴支撑架0 度基准进行整列，测量对角度的Offset。
以下是执行Z Offset 校正的过程，使用的吸嘴为校正用CN040吸嘴。
1. 点击< 准备吸嘴>按钮，手动清除插入在所有 Head吸嘴支撑架的吸嘴后把
CN040吸嘴插入到 ANC的2号孔中。Gantry1时前面ANC 的2号孔、 Gantry2时
后面ANC 的2 号孔中插入CN040吸嘴。
测量Z Offset的位置为从前面ANC的校正 Tool位置（中心）脱离3mm处，如果
此处有异物或校正 Tool 时，请预先清除。
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2. 在<Grid> 领域中选择执行校正的Head Z轴后，选择<Automatic> 校验框，之后
点击<Detect Z Offset>按钮。（在此任意设置成Head1）
3. 那么Head 会自动移动到ANC上的指定位置。之后设备产生空压从Head1号开始
到Head10依次自动下降Spindle 的同时执行校正。
4. 完成校正后自动把结果反应在<Grid> 领域的Z列上。手动进行时，手动给各
Head上依次插入 CN040后，在Vacuum 对话框中确认Head 的空压状态的同时下
降Spindle 执行校正。
5. 单击<Update> 键把校准结果反映到设备。
备 注 正常的Z偏移值如下。
Head1~ Head10: -1.5 ~ 1.5 mm
若Z Offset值超出该范围，则说明磁头有严重的器具性问题，需
要确认home位置、主轴、LM和电动机的工作是否正常。