N7201A618J00.pdf - 第159页
NPM–W 2 EJM7DJ-MB-02T -00 基板搬出エラー 基板搬入エラー 内部ワークメモリ異常 エ ラ ｜ 対 策 エラーコード エラーメッセージ エラー原因 点検と対策 捨て打ち認識の内部処理異常 です。 ( 内部ワークメモリ－異常が 発生しました。 ) エラー発生時の状況とエラー内容を 確認して、当社にご連絡ください。 43524 基板の搬入時にタイムアウ トになりました。 ( 基板搬入エラーが発生しま した。 ) いずれ…
NPM–W2 EJM7DJ-MB-02T-00
認識パラメータ異常
(基準面積)
認識パラメータ異常
(大小面積比)
認識パラメータ異常
(面積許容上限)
認識パラメータ異常
(面積許容下限)
エラー
メッ
セージ
トラブルシュート編
2-1-3
シングル停止エラー 45
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
捨て打ち認識データの総面
積許容下限値が不正です。
(認識パラメータ異常(面積許
容下限)が発生しました。)
総面積許容下限の値を確認してくだ
さい。再発するときは、当社にご連
絡ください。
43520
捨て打ち認識データの総面
積許容上限値が不正です。
(認識パラメータ異常(面積許
容上限)が発生しました。)
総面積許容上限の値を確認してくだ
さい。再発するときは、当社にご連
絡ください。
43521
捨て打ち認識データの大小
面積比許容値が不正です。
(認識パラメータ異常(大小面
積比)が発生しました。)
大小面積比許容の値を確認してくだ
さい。再発するときは、当社にご連
絡ください。
43522
捨て打ち認識データの基準面
積値が不正です。
(認識パラメータ異常(基準面
積)が発生しました。)
基準面積の値を確認してください。
再発するときは、当社にご連絡くだ
さい。
43523
2-1-3-88
NPM–W2 EJM7DJ-MB-02T-00
基板搬出エラー
基板搬入エラー
内部ワークメモリ異常
エ
ラ
｜
対
策
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
捨て打ち認識の内部処理異常
です。
(内部ワークメモリ－異常が
発生しました。)
エラー発生時の状況とエラー内容を
確認して、当社にご連絡ください。
43524
基板の搬入時にタイムアウ
トになりました。
(基板搬入エラーが発生しま
した。)
いずれかの対策をしてください。
1)コンベア上の基板と基板検出セン
サの状態を確認してください。
2)コンヘアの幅を確認してください。
44000
基板の搬出時にタイムアウ
トになりました。
(基板搬出エラーが発生しま
した。)
いずれかの対策をしてください。
1)コンベア上の基板と基板検出セン
サの状態を確認してください。
2)コンベアの幅を確認してください。
44001
2-1-3-89
NPM–W2 EJM7DJ-MB-02T-00
基板有りエラー
後工程要求OFF
タイムアウトエラー
基板搬出後の
センサ異常
エラー
メッ
セージ
トラブルシュート編
2-1-3
シングル停止エラー 46
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
基板の搬出後に停止位置セ
ンサがONしていました。
(基板搬出後のセンサ異常が
発生しました。)
いずれかの対策をしてください。
1)コンベア上の基板と基板検出セン
サの状態を確認してください。
2)コンベアの幅を確認してください。
44002
基板の排出後に後工程マシ
ンからの基板要求信号が設
定時間内にOFFしませんで
した。
(後工程要求OFF待ちでタイ
ムアウトエラーが発生しま
した。)
いずれかの対策をしてください。
1)コンベア上の基板と基板検出セン
サの状態を確認してください。
2)基板排出待ち時間(要求OFF)の設
定値を確認してください。
44003
基板の搬入時に基板停止位置
センサがすでにONしていま
した。
(基板搬入時に基板有りを検
出しました。)
コンベア上の基板と基板検出センサ
の状態を確認してください。
44004
2-1-3-90