N7201A618J00.pdf - 第324页
NPM-W 2 EJM7DJ-MB-04T -00 4-2-2 -3 ユニット名 No. 名称 配置位置 備考 12 ノズルヘッド R3001 真空バルブ 1 R3002 真空バルブ 2 R3003 真空バルブ 3 R3004 真空バルブ 4 R3005 真空バルブ 5 R3006 真空バルブ 6 R3007 真空バルブ 7 R3008 真空バルブ 8 R3009 真空バルブ 9 R3010 真空バルブ 10 R301 1 真空バルブ …
NPM-W2 EJM7DJ-MB-04T-00
4-2-2-2
ユニット名
No.
名称 配置位置 備考
軽量16ノズルヘッド
R3001
真空バルブ1
R3002
真空バルブ2
R3003
真空バルブ3
R3004
真空バルブ4
R3005
真空バルブ5
R3006
真空バルブ6
R3007
真空バルブ7
R3008
真空バルブ8
R3009
真空バルブ9
R3010
真空バルブ10
R3011
真空バルブ11
R3012
真空バルブ12
R3013
真空バルブ13
R3014
真空バルブ14
R3015
真空バルブ15
R3016
真空バルブ16
R3021
ブローバルブ1
R3022
ブローバルブ2
R3023
ブローバルブ3
R3024
ブローバルブ4
R3035
ブローバルブ5
R3026
ブローバルブ6
R3027
ブローバルブ7
R3928
ブローバルブ8
R3029
ブローバルブ9
R3030
ブローバルブ10
R3031
ブローバルブ11
R3032
ブローバルブ12
R3033
ブローバルブ13
R4034
ブローバルブ14
R3035
ブローバルブ15
R3036
ブローバルブ16
オプション
負
荷
配
置
図
NPM-W2 EJM7DJ-MB-04T-00
4-2-2-3
ユニット名
No.
名称 配置位置 備考
12ノズルヘッド
R3001
真空バルブ1
R3002
真空バルブ2
R3003
真空バルブ3
R3004
真空バルブ4
R3005
真空バルブ5
R3006
真空バルブ6
R3007
真空バルブ7
R3008
真空バルブ8
R3009
真空バルブ9
R3010
真空バルブ10
R3011
真空バルブ11
R3012
真空バルブ12
R3013
ブローバルブ1
R3014
ブローバルブ2
R3015
ブローバルブ3
R3016
ブローバルブ4
R3017
ブローバルブ5
R3018
ブローバルブ6
R3019
ブローバルブ7
R3020
ブローバルブ8
R3021
ブローバルブ9
R3022
ブローバルブ10
R3023
ブローバルブ11
R3024
ブローバルブ12
オプション
ソレノイドリスト 2
トラブルシュート
編
4-2-2
負荷
リスト
NPM-W2 EJM7DJ-MB-04T-00
4-2-2-4
ユニット名
No.
名称 配置位置 備考
8ノズルヘッド
R3001
真空バルブ1
R3002
真空バルブ2
R3003
真空バルブ3
R3004
真空バルブ4
R3005
真空バルブ5
R3006
真空バルブ6
R3007
真空バルブ7
R3008
真空バルブ8
R3013
ブローバルブ1
R3014
ブローバルブ2
R3015
ブローバルブ3
R3016
ブローバルブ4
R3017
ブローバルブ5
R3018
ブローバルブ6
R3019
ブローバルブ7
R3020
ブローバルブ8
3ノズルヘッド
R3001
真空バルブ1
R3002
真空バルブ2
R3003
真空バルブ3
R3013
ブローバルブ1
R3014
ブローバルブ2
R3015
ブローバルブ3
塗布ヘッド
R3001
エアー1
R3002
エアー2
シングルトレイ
フィーダー本体部
R3310
マガジンシャッター開
R3311
補給部シャッター閉
R3316
マガジンドアロック閉
R3317
マガジンドアロック開
ツイントレイ
フィーダー本体部
R3310
マガジンシャッター開(A)
R3311
補給部シャッター閉(A)
R3316
マガジンドアロック閉(A)
R3317
マガジンドアロック開(A)
R3610
マガジンシャッター開(B
)
R3611
補給部シャッター閉(B)
R3616
マガジンドアロック閉(B)
R3617
マガジンドアロック開(B)
汎用型転写ユニット
R301
自動供給バルブ
負
荷
配
置
図