N7201A618J00.pdf - 第323页
NPM-W 2 EJM7DJ-MB-04T -00 4-2-2 -2 ユニット名 No. 名称 配置位置 備考 軽量 16 ノズルヘッド R3001 真空バルブ 1 R3002 真空バルブ 2 R3003 真空バルブ 3 R3004 真空バルブ 4 R3005 真空バルブ 5 R3006 真空バルブ 6 R3007 真空バルブ 7 R3008 真空バルブ 8 R3009 真空バルブ 9 R3010 真空バルブ 10 R301 1 真空バ…
NPM-W2 EJM7DJ-MB-04T-00
4-2-2-1
ソレノイドリスト 1
トラブルシュート
編
4-2-2
ユニット名
No.
名称 配置位置 備考
本体部
R4200
台車ロック 前側
R4201
台車ロック解除 前側
R4202
テープカッター1 前側
R4203
テープカッター2 前側
R4210
台車ロック 後側
R4211
台車ロック解除 後側
R4212
テープカッター1 後側
R4213
テープカッター2 後側
R4230
ブロー圧切替えバルブ(前側) 前側
R4234
ブロー圧切替えバルブ(後側) 前側
R5001
メインエアバルブ 後側
ヘッドオプション
駆動ユニット
R01
バルブ開 前側
R11
バルブ開 後側
基板ホルダー
(シングルコンベヤー)
R4130
下受け交換上昇 (装着位置右)
R4131
下受け交換下降 (装着位置右)
R4132
下受け交換上昇 (装着位置左)
R4133
下受け交換下降 (装着位置左)
R4134
基板下受け上昇 (装着位置右)
R4135
基板下受け下降 (装着位置右)
R4222
基板下受け上下速度切替 (装着位置右)
R4136
基板下受け上昇 (装着位置左)
R4137
基板下受け下降 (装着位置左)
R4223
基板下受け上下速度切替 (装着位置左)
基板ホルダー
(
デュアルコンベヤー)
R413
4
基板下受け上昇 (レーン1右)
R4135
基板下受け下降 (レーン1右)
R4222
基板下受け上下速度切替 (レーン1右)
R4136
基板下受け上昇 (レーン1左)
R4137
基板下受け下降 (レーン1左)
R4223
基板下受け上下速度切替 (レーン1左)
R4503
基板下受け上昇 (レーン2右)
R4513
基板下受け下降 (レーン2右)
R4526
基板下受け上下速度切替 (レーン2右)
R4504
基板下受け上昇 (レーン2左)
R4505
基板下受け下降 (レーン2左)
R4531
基板下受け上下速度切替 (レーン2左)
標準部
負荷
リスト
NPM-W2 EJM7DJ-MB-04T-00
4-2-2-2
ユニット名
No.
名称 配置位置 備考
軽量16ノズルヘッド
R3001
真空バルブ1
R3002
真空バルブ2
R3003
真空バルブ3
R3004
真空バルブ4
R3005
真空バルブ5
R3006
真空バルブ6
R3007
真空バルブ7
R3008
真空バルブ8
R3009
真空バルブ9
R3010
真空バルブ10
R3011
真空バルブ11
R3012
真空バルブ12
R3013
真空バルブ13
R3014
真空バルブ14
R3015
真空バルブ15
R3016
真空バルブ16
R3021
ブローバルブ1
R3022
ブローバルブ2
R3023
ブローバルブ3
R3024
ブローバルブ4
R3035
ブローバルブ5
R3026
ブローバルブ6
R3027
ブローバルブ7
R3928
ブローバルブ8
R3029
ブローバルブ9
R3030
ブローバルブ10
R3031
ブローバルブ11
R3032
ブローバルブ12
R3033
ブローバルブ13
R4034
ブローバルブ14
R3035
ブローバルブ15
R3036
ブローバルブ16
オプション
負
荷
配
置
図
NPM-W2 EJM7DJ-MB-04T-00
4-2-2-3
ユニット名
No.
名称 配置位置 備考
12ノズルヘッド
R3001
真空バルブ1
R3002
真空バルブ2
R3003
真空バルブ3
R3004
真空バルブ4
R3005
真空バルブ5
R3006
真空バルブ6
R3007
真空バルブ7
R3008
真空バルブ8
R3009
真空バルブ9
R3010
真空バルブ10
R3011
真空バルブ11
R3012
真空バルブ12
R3013
ブローバルブ1
R3014
ブローバルブ2
R3015
ブローバルブ3
R3016
ブローバルブ4
R3017
ブローバルブ5
R3018
ブローバルブ6
R3019
ブローバルブ7
R3020
ブローバルブ8
R3021
ブローバルブ9
R3022
ブローバルブ10
R3023
ブローバルブ11
R3024
ブローバルブ12
オプション
ソレノイドリスト 2
トラブルシュート
編
4-2-2
負荷
リスト