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NPM–W 2 EJM7DJ-MB-02T -00 基板有りエラー 後工程要求 OFF タイムアウトエラー 基板搬出後の センサ異常 エラー メッ セージ トラブルシュート編 2-1-3 シングル停止エラー 46 エラーコード エラーメッセージ エラー原因 点検と対策 基板の搬出後に停止位置セ ンサが ON していました。 ( 基板搬出後のセンサ異常が 発生しました。 ) いずれかの対策をしてください。 1) コンベア上の基板と基板検出…
NPM–W2 EJM7DJ-MB-02T-00
基板搬出エラー
基板搬入エラー
内部ワークメモリ異常
エ
ラ
｜
対
策
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
捨て打ち認識の内部処理異常
です。
(内部ワークメモリ－異常が
発生しました。)
エラー発生時の状況とエラー内容を
確認して、当社にご連絡ください。
43524
基板の搬入時にタイムアウ
トになりました。
(基板搬入エラーが発生しま
した。)
いずれかの対策をしてください。
1)コンベア上の基板と基板検出セン
サの状態を確認してください。
2)コンヘアの幅を確認してください。
44000
基板の搬出時にタイムアウ
トになりました。
(基板搬出エラーが発生しま
した。)
いずれかの対策をしてください。
1)コンベア上の基板と基板検出セン
サの状態を確認してください。
2)コンベアの幅を確認してください。
44001
2-1-3-89
NPM–W2 EJM7DJ-MB-02T-00
基板有りエラー
後工程要求OFF
タイムアウトエラー
基板搬出後の
センサ異常
エラー
メッ
セージ
トラブルシュート編
2-1-3
シングル停止エラー 46
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
基板の搬出後に停止位置セ
ンサがONしていました。
(基板搬出後のセンサ異常が
発生しました。)
いずれかの対策をしてください。
1)コンベア上の基板と基板検出セン
サの状態を確認してください。
2)コンベアの幅を確認してください。
44002
基板の排出後に後工程マシ
ンからの基板要求信号が設
定時間内にOFFしませんで
した。
(後工程要求OFF待ちでタイ
ムアウトエラーが発生しま
した。)
いずれかの対策をしてください。
1)コンベア上の基板と基板検出セン
サの状態を確認してください。
2)基板排出待ち時間(要求OFF)の設
定値を確認してください。
44003
基板の搬入時に基板停止位置
センサがすでにONしていま
した。
(基板搬入時に基板有りを検
出しました。)
コンベア上の基板と基板検出センサ
の状態を確認してください。
44004
2-1-3-90
NPM–W2 EJM7DJ-MB-02T-00
中間基板要求信号ON
タイムアウト
基板位置決めエラー
コンベアオーバーラン
センサ異常
エ
ラ
｜
対
策
エラーコード
エラーメッセージ
エラー原因 点検と対策
基板の搬入時にオーバーラ
ン検出によるバック動作で
センサがONしませんでした。
(基板搬入時にオーバーラン
センサの異常が発生しまし
た。)
コンベア上の基板と基板検出センサ
の状態を確認してください。
44005
基板の搬入時にオーバーラ
ン検出によるバック動作で
停止位置センサがOFFしま
した。
(基板搬入時に基板位置決め
のエラーが発生しました。)
コンベア上の基板と基板検出センサ
の状態を確認してください。
44006
マシン間の中間待機搬送時
に後工程マシンからの基板
要求信号がONしませんでし
た。
(マシン間の中間待機搬送で
タイムアウトエラーが発生
しました)
いずれかの対策をしてください。
1)マシン間の同期確認信号と中間待
機確認信号の状態を確認してくだ
さい。
2)異常発生時の状況を確認して、当
社にご連絡ください。
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2-1-3-91