SI-P850_使用说明书.pdf - 第181页
故障检修 SI-P850 (CS) 5 - 7 压力感应器位于 XY 工作台的左前方。 1) 按一次 SET 时， “P_1”和设定值在屏幕上交替出现。 2) 按 U 或 V 时，设备进入设定値变更模式，个位数开始闪烁。 3) 按 U 或 V ，设定数值。 4) 按 SET 时，十位数开始闪烁。以同样的方式进行设定。 5) 按下 SET 1 秒钟以上时，设备恢复到显示模式。 6) 再按一次 SET 时，交 替显示“H”和迟滞设定值。 7…
故障检修
5-6 SI-P850 (CS)
E051 基板名中包含无法使用的文字，请变更基板名。
E052 传送带轨道上方有基板压块。请更改基板压板的位置。
E053 基板压块没有打开
请确认基板压块的状态。
虽然尽了努力想让XY工作台升高，但基板边缘压块没有被打开。
E054 基板压块没有关闭
请确认基板压块的状态。
E055 不可能下降的领域有挡块。
请变更挡块的位置。
如果基板挡块没有在输送带轨道之间的位置则无法下降。
E056 不可能下降的领域有基板压块。
请变更基板压块的位置。
如果基板压块没有在输送带轨道之间的位置则无法下降。
T001 刮刀 1 没有下降
T002 刮刀 1 没有上升
T003 刮刀 2 没有下降
T004 刮刀 2 没有上升
T005 XY 工作台不上升
T006 XY 工作台不下降
T007 基板挡块没有开
T008 基板挡块没有关
T009 基板压块没有开
T010 基板压块没有关
T011 照像机快门没有开
T012 照像机快门没有关
T013 基板压块没有上升
T014 基板压块没有下降
T015 基板送入错误
T016 基板送出错误
T017
T018 基板吸着错误
当压力感应器的数值没有达到能够吸着和固定基板指定的数值时，将显示该讯息。可能漏气。
当压力感应器的数值低于上述值时，也会显示该讯息。
处理方法
① 检查以下方面，如果必要，应更正。
· 检查是否因基板定位错误导致空气泄漏。
· 检查吸引销是否没有到达销座孔和切口的位置。
· 检查是否发生其它漏气情况。
② 上述方法不能解决所发生的错误时，请更改感应器的设定值。
故障检修
SI-P850 (CS) 5-7
压力感应器位于 XY 工作台的左前方。
1) 按一次 SET 时，“P_1”和设定值在屏幕上交替出现。
2) 按 U 或 V 时，设备进入设定値变更模式，个位数开始闪烁。
3) 按 U 或 V ，设定数值。
4) 按 SET 时，十位数开始闪烁。以同样的方式进行设定。
5) 按下 SET 1 秒钟以上时，设备恢复到显示模式。
6) 再按一次 SET 时，交替显示“H”和迟滞设定值。
7) 再次按 SET 时，设备恢复到正常量测模式。
T019 1 伺服 发生报警 （原文是否有误？）
T020 1 X1 轴驱动异常
T021 1 Y1 轴驱动异常
T022 1 Z 轴驱动异常
T023 1 θ 轴驱动异常
T024 1 导轨宽度调整驱动异常
T025 1 X2 轴驱动异常
T026 1 Y2 轴驱动异常
T027 1 S 轴驱动异常
T028 1 CL 轴驱动异常
T029 1 轴驱动异常
T030 1 X1-axis Positioning Error!
T031 1 Y1-axis Positioning Error!
T032 1 Z-axis Positioning Error!
T033 1 θ-axis Positioning Error!
T034 1 Conveyer Width-axis Positioning Error!
T035 1 X2-axis Positioning Error!
T036 1 Y2-axis Positioning Error!
T037 1 S-axis Positioning Error!
T038 1 Cl-axis Positioning Error!
T039 1 Axis Positioning Error!
T040 1 XY-axis Positioning Error!
T041 1 XY2-axis Positioning Error!
T042 1 Wng. Abnormal deflection.
T043 1 Wng. Setting Parameter range over.
T044 1 Wng. Fixed Parameter range over.
T045 1 Wng. Servo driver abnormal condition.
T046 1 Wng. Over travel.
T047 1 Wng. Servo not ON.
T048 1 Wng. Servo driver communication error.
T049 1 Alm. Servo driver abnormal condition.
T050 1 Alm. Over travel.
T051 1 Alm. Software limit.
T052 1 Alm. Servo OFF.
T053 1 Alm. Positioning time over.
T054 1 Alm. Positioning moving amount too large
T055 1 Alm. Verocity too large.
T056 1 Alm. Over travel
-50.0
△
▽
SET
故障检修
5-8 SI-P850 (CS)
T057 1 Alm. Servo driver communication error.
T058 1 Alm. Servo driver command time out.
T059 1 Alm. ABS encorder round over.
T061 清洗装置没有打开联结
T062 清洗装置没有关闭联结
在手动操作的钢网清洗画面按 关闭 时，如果装置连结没有连结清洗装置，则会显示该讯息。
连结关闭： 表明清洗装置的连结部分由唧筒保持和固定。
因为传感器打开时清洗装置的连结部分被拦住，所以当清洗装置没有处于指定位置且定位唧筒开启
（下降）时，显示传感器关闭和连结关闭。
按连结关闭时，显示该讯息。
处理方法
① 清洗装置不在指定位置时
1) 按连结 开启 ，让定位唧筒上升。（图 1）
2) 将清洗装置移动到指定位置。（连结部分在唧筒
以下时）
3) 按连结 关闭 ，设定清洗装置。（图 2）
② 清洗装置在指定位置时
检查以下项目。
· 清洗装置定位唧筒的感应器定位是否正确。
· 感应器正常工作（是否故障）。
· 感应器布线无误（断线等）。
· 唧筒管道无误（是否供应空气）。
T069 1 Get Register Data Handle failed.
T070 1 X1-axis Get Register Data failed.
T071 1 Y1-axis Get Register Data failed.
T072 1 Z-axis Get Register Data failed.
T073 1 θ-axis Get Register Data failed.
T074 1 Conv.Width-axis Get Register Data failed
T075 1 X2-axis Get Register Data failed.
T076 1 Y2-axis Get Register Data failed.
T077 1 S-axis Get Register Data failed.
T078 1 Cl-axis Get Register Data failed.
T080 1 X1 轴 限度传感器成为了开
T081 1 Y1 轴限度传感器成为了开
T082 1 Z 轴 限度传感器成为了开
T083 1 θ 轴 限度传感器成为了开
T084 1 幅调轴 限度传感器成为了开
T085 1 X2 轴 限度传感器成为了开
T086 1 Y2 轴 限度传感器成为了开
T087 1 S 轴 限度传感器成为了开
T088 1 CL 轴 限度传感器成为了开
图 1
图 2