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6 - 13 Tg 1298 -ID-OP 4.2 “テーブル部”タブ 4.2 “テーブル部”タブ テーブル部の手動操作を行います。 • シートの表示 “手動操作”サブメニュー画面の［テーブル部］タブを押すと、以下 のタブシートが表示されます。 [1] [2] Fig.2F11 “テーブル部”タブシート • シートの構成 [1] 動作ユニット選択ボタン ボタンを押すと背景が青色に変わり動作するユニットが選択さ れます。 前面操作パネルの…
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Tg1298-ID-OP
［R コンベア正転（入 - 切）］ボタン
R コンベアを正転して基板を下流側に搬送します。
［R コンベア逆転（入 - 切）］ボタン
R コンベアを逆転して基板を上流側に搬送します。
［R コンベアとテーブル接続（接続 - 解除）］ボタン
テーブルシュートを R
コンベア側に移動させて R
コンベア上の
基板をテーブルシュート上に搬送します。
［R コンベアストッパー（上昇 - 下降）］ボタン
R コンベアの基板ストッパーを上昇および下降します。
[2] 動作状況
各ユニットの動作状況が表示されます。
4.1 “搬送部”タブ
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Tg1298-ID-OP
4.2 “テーブル部”タブ
4.2 “テーブル部”タブ
テーブル部の手動操作を行います。
•
シートの表示
“手動操作”サブメニュー画面の［テーブル部］タブを押すと、以下
のタブシートが表示されます。
[1]
[2]
Fig.2F11 “テーブル部”タブシート
•
シートの構成
[1]
動作ユニット選択ボタン
ボタンを押すと背景が青色に変わり動作するユニットが選択さ
れます。
前面操作パネルの［始動］ボタンを押すと選択したユニットが
始動し、［始動］ボタンを離すと停止 / 復帰します。
［テーブル上下（上昇
- 下降）］ボタン
テーブルシュート部を上昇、下降します。
［基板バックアップ上下（原点 - 始点 -
終点）］ボタン
基板バックアップ治具部を上昇、下降します。
［基板クランプ（前進 - 後退）］ボタン
メカクランプ横押えを前進、後進します。
［基板反り上押え（上昇 - 下降）］ボタン
基板反り上押えを上昇、下降します。
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［基板ストッパー上下（上昇 - 下降）］ボタン
基板ストッパーを上昇、下降します。
［真空吸着（吸引 - 解除）］ボタン
基板を真空で吸着、解除します。
[2] 動作状況
各ユニットの動作状況が表示されます。
4.2 “テーブル部”タブ
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