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6 - 32 Tg 1298 -ID-OP 5.10 “基板バックアップ”タブ 5.10 “基板バックアップ”タブ 基板バックアップ軸のインチング操作を行います。 • シートの表示 “インチング操作”サブメニュー画面の［基板バックアップ］タブを 押すと、以下のタブシートが表示されます。 [1] Fig.2F26 “基板バックアップ”タブシート • シートの構成 [1] 現在位置 ユニットの現在の位置が、移動距離とパルス数で表示されます。…
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5.9 “基板認識 Y 軸”タブ
5.9 “基板認識 Y 軸” タブ
基板認識部の Y 軸のインチング操作を行います。
•
シートの表示
“インチング操作”サブメニュー画面の［基板認識 Y
軸］タブを押すと、
以下のタブシートが表示されます。
[1]
Fig.2F25 “基板認識 Y 軸”タブシート
•
シートの構成
[1]
現在位置
ユニットの現在の位置が、移動距離とパルス数で表示されます。
“基板認識 Y 軸”の 1
パルスは、0.02 mm に相当します。
インチングの操作手順については“5.1 インチングの基本操作方法”
を参照してください。
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5.10 “基板バックアップ”タブ
5.10 “基板バックアップ”タブ
基板バックアップ軸のインチング操作を行います。
•
シートの表示
“インチング操作”サブメニュー画面の［基板バックアップ］タブを
押すと、以下のタブシートが表示されます。
[1]
Fig.2F26 “基板バックアップ”タブシート
•
シートの構成
[1]
現在位置
ユニットの現在の位置が、移動距離とパルス数で表示されます。
“基板バックアップ”の 1 パルスは、0.0067 mm に相当します。
インチングの操作手順については“5.1 インチングの基本操作方法”
を参照してください。
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6. “ティーチング” サブメニュー
各ユニットのティーチング操作を行います。
•
画面の表示
装置メンテナンスサブメニューバーの［ティーチング］ボタンを押
すと、以下の画面が表示されます。
[1]
Fig.2F27
•
画面の構成
[1]
タブ
“ティーチング”サブメニュー画面は、6 つのタブシートに分か
れており、タブを押すと各タブシートが表示されます。
Table 2F5
タ ブ 内 容
位置ずれの補正設定 基板とスクリーンの位置ずれの補正を行います。
座標ティーチング 基板またはスクリーンの認識マークの座標のティーチン
グを行います。
吸着治具位置ティーチング 吸着治具位置のティーチングを行います。
基板認識カメラオフセット 基板認識カメラオフセットの設定を行います。
スクリーン認識カメラオフセット
スクリーン認識カメラオフセットの設定を行います。
印圧調整
前後のスキージの印圧を正確に出力するための印圧補正
データを、実際に台ばかりを使用して計測することによ
り設定を行います。
6. “ティーチング”サブメニュー
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