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6 - 21 Tg 1298 -ID-OP [7] 移動モード選定ボタン ユニットが移動するモードを以下のボタンで選択します。 [移動距離指定]ボタン ユニットが 1 インチングに移動する距離を指定します。 [移動位置指定]ボタン ユニットが次のインチングで移動する位置を指定します。 [原点復帰]ボタン ユニットを原点の位置に戻します。 [8] 移動距離 / 移動位置の設定 上記 [7] で指定した移動距離または移動位置を設定します。 …

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Table 2F4
タ ブ 内 容
スクリーン認識 移動速度、移動距離、移動位置を指定して、スクリーン認識
の X 軸に対するインチング操作が行えます。
基板認識 X
軸 移動速度、移動距離、移動位置を指定して、基板認識の X 軸
に対するインチング操作が行えます。
基板認識 Y 軸 移動速度、移動距離、移動位置を指定して、基板認識の Y
軸
に対するインチング操作が行えます。
基板バックアップ 移動速度、移動距離、移動位置を指定して、基板バックアッ
プ軸のインチング操作が行えます。
[2]
対象ユニット名称表示部
インチング操作するユニットと操作方向の軸の名称が表示され
ます。
[3] 現在位置
ユニットの現在の位置が、移動距離とパルス数で表示されます。
1パルスの mm 相当数値は、ユニットによって異なります。
[4] 累積移動量
ユニットの累積移動量が、移動距離とパルス数で表示されます。
[5]
移動速度
インチングでユニットを移動する速度が、距離 / 秒とパルス数
/ 秒で表示されます。
移動速度を変更する場合は、数値の表示エリアを押してテンキー
画面を表示し、パルス数 / 秒を入力します。
[6] 原点情報
ユニットが原点の位置にあることを検出する手段の種類と、そ
の手段の有無またはユニットの状態が表示されます。
ニア原点 : ユニットの直線運動をセンサで検出して判断する原
点
回転原点 : ボールネジの回転をスリットカムで検出して判断す
る原点
励磁原点 : パルスモータの回転角度を検出して判断する原点
原点表示
有 : 原点を検出する手段がある。
無 : 原点を検出する手段がない。
○ :
原点の位置にある。
× : 原点の位置にない。
5. “インチング操作”サブメニュー
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[7] 移動モード選定ボタン
ユニットが移動するモードを以下のボタンで選択します。
[移動距離指定]ボタン
ユニットが 1 インチングに移動する距離を指定します。
[移動位置指定]ボタン
ユニットが次のインチングで移動する位置を指定します。
[原点復帰]ボタン
ユニットを原点の位置に戻します。
[8]
移動距離 / 移動位置の設定
上記 [7] で指定した移動距離または移動位置を設定します。
[9] 移動距離 / 移動位置の表示
上記 [8] で設定した移動距離または移動位置が数値で表示され
ます。
5. “インチング操作”サブメニュー
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5.1 インチングの基本操作方法
5.1.1 インチングの操作手順
(1) 移動速度 [5] の“パルス数 / 秒”を設定します。
(2) 移動モード選択ボタン [7] で、実行する移動モードのボタンを
押します。(背景が青色に変わります。)
(3) 移動距離 / 移動位置の設定 [8] で、移動距離または移動位置を
設定します。
設定方法については、“5.1.2 移動距離、移動位置の設定操作”
を参照してください。
(4) 前面操作パネルの [ 始動 ] ボタンを押すと、インチング操作を
実行します。
5.1 インチングの基本操作方法
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