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6 Funciones ópticas Instrucciones de uso S IPLACE HS-50 6.5 Determinar los parám etros de la m arca Versión de software SR .501.xx Edición 12/9 9 ES 236 t I I t Después 6 – se representa el ciclo de prueba en la ima gen …

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Instrucciones de uso SIPLACE HS-50 6 Funciones ópticas
Versión de software SR.501.xx Edición 12/99 ES 6.5 Determinar los parámetros de la marca
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de marca arriba" y finalmente "Borde de marca abajo". Esta notación aparece en la línea de
encabezamiento.
El resultado del centrado de la marca se visualiza con una cruz. Los valores de desviación X y
desviación Y del centro de la marca se registran en el campo de datos de marca. 6
INDICACION 6
Una marca centrada de forma incorrecta ocasiona un desplazamiento de colocación.
Å Con la tecla "ESC" abandona la opción y retorna al menú "Probar la marca".
6.5.6.2 Opción "Probar"
Cuando hace clic en el botón "Probar" se desactiva el menú "Probar la marca" y se visualiza la
imagen de vídeo en la pantalla. 6
6
Fig. 6.5 - 25 Menú "Probar la marca", imagen de vídeo "Probar"
En la computadora de la estación están memorizadas las dimensiones del campo de estructura
de muestra y del campo de búsqueda. Estas magnitudes son necesarias para el cálculo del re-
corrido para la prueba de esquinas. Las desviaciones de un centrado de marca, ejecutado even-
tualmente con anterioridad, también se consideran en el cálculo del recorrido. 6
6
Marke-Nr. = 8 Qualität = 70Marke testen
testen
1..6 : x/y-Schritt.
Ret :
x/y - Schrittw. = ...
: x-Achse +
: x-Achse -
: y-Achse +
: y-Achse -
6
paso-X/Y = ...
: Eje-X +
: Eje-X –
Ret.: det. parám.
1 ... 6 paso-X/Y
6
Probar la marca
6
N° marca = 8
6
Calidad = 70
: Eje-Y +
: Eje-Y –
6 Funciones ópticas Instrucciones de uso SIPLACE HS-50
6.5 Determinar los parámetros de la marca Versión de software SR.501.xx Edición 12/99 ES
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t IIt
Después 6
– se representa el ciclo de prueba en la imagen de vídeo,
– se visualiza la línea de encabezamiento con la opción, el número de marca y el factor de ca-
lidad,
– se visualizan en el pie de página los paneles de control y las secuencias de comando y se
activa un proceso de prueba que determina el factor de calidad de la marca.
Å Pulsando la tecla "RETURN" puede repetir el proceso de prueba.
Å Con las teclas de flecha modifica la posición del portal. Con la entrada de las cifras 1 .. 6 mo-
difica el paso.
La cámara de tarjeta de circuitos se desplaza a las cuatros esquinas del campo de búsqueda y
expide cada vez un comando de medición. Para cada comando de medición el controlador de
máquina recibe la calidad de marca de la unidad óptica de evaluación (MVS). El peor valor (worst
case) de la prueba se visualiza en el monitor, en la línea de encabezamiento. 6
La indicación de calidad se encuentra en el intervalo 0 (= mala) a 100 (= excelente ) y no debe
ser inferior a 40 para la marca y el punto "Ink". En caso contrario recomendamos seleccionar otra
marca. 6
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6.5.6.3 Opción - desplazar ejes X/Y
Cuando elige esta opción en el menú "Probar la marca" la computadora de la estación ocasiona
las siguientes operaciones: 6
– La pantalla oculta el menú "Probar la marca" y conmuta a imagen de vídeo. Al mismo tiempo
se visualiza la posición actual de la cámara y se visualiza la opción panel de control.
– En caso de peligro de colisión se bloquean los grupos de mando de los ejes.
6
Fig. 6.5 - 26 Menú "Probar la marca", imagen de vídeo desplazar ejes - X/Y
Å Después de seleccionar el paso, con las cifras 1 a 6, puede variar la posición de la cámara
con las teclas de flecha.
INDICACION 6
Como portal estándar de determinación de parámetros se utiliza siempre el portal 1. Los por-
tales 2, 3, y 4 los puede seleccionar con la Opción "Selección de portal"
(ver aparte 6.5.3.1,
página 213). 6
Å Con ESC abandona la opción. El menú "Probar la marca" se visualiza de nuevo.
: x-Achse +
: x-Achse -
: y-Achse +
: y-Achse -
1..6: x/y-Schritt.
x-Pos. [µm]= .......... y-Pos. [µm]= .........
x/y-Achsen verfahren
x/y - Schrittw. =
6
Paso - X/Y = ...
: Eje-X +
: Eje-X –
Ret.: paso -X/Y
6
Desplazar ejes - X/Y
: Eje-Y +
: Eje-Y –
6
X-Pos. [µm] = ...
6
Y-Pos. [µm] = ...