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维修调整要领书 13-28 Rev2.0 更换伺服放大器 时， 必须 利用各轴的伺服放大器的 旋转开关（ SW1 ）进行轴选择设置 。 请打开伺服放大 器前面的盖罩，转动选轴 用的 旋转 开关（ SW1 ），使 箭头指向下表的设置值 。 请确认直插式开 关（ SW2 ）为 OFF 状态。 XY 伺服放大器正 面装有指示状态的 7 段 LED 。 一般情况下显示 如下。 显示 Ab → C# → d# 内容 正在初始化 伺服 O FF 伺…

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维修调整要领书
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Rev2.0
XY 装置由驱动 XY 轴的 AC 伺服驱动器和检测移动位置的磁性膜所组成。
注）本文中所说的 YA 轴，与 Y—TBL 轴同义。
AC 伺服驱动器装有单轴驱动器 5 台（驱动 X 轴的 AC 伺服驱动器 2 台与驱动 YA 轴的 AC 伺服驱动器 1
台，驱动 YB 轴的 AC 伺服驱动器 2 台）。
<驱动器货号>
FX-2
YBL : 750W 40044538
YBR : 750W 40044538
XL : 2kW 40076130
YA : 2kW 40044539
XR : 2kW 40076130
YBL 轴
YBR 轴
XL 轴
YA 轴
XR 轴
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Rev2.0
更换伺服放大器时，必须利用各轴的伺服放大器的旋转开关（SW1）进行轴选择设置。
请打开伺服放大器前面的盖罩，转动选轴用的旋转开关（SW1），使箭头指向下表的设置值。
请确认直插式开关（SW2）为 OFF 状态。
XY 伺服放大器正面装有指示状态的 7 段 LED。
一般情况下显示如下。
显示 Ab
→
C#
→
d#
内容 正在初始化 伺服 OFF 伺服 ON
#显示轴编号（参照下表）。
轴 轴编号#
XL 01
XR 02
YBL 04
YBR 03
YA 03
XL 0
XR 0
YBL 2
YBR 3
YA 2
SW2
１
2
ON
SW1
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Z/θ装置由驱动贴装头 Zθ轴的 AC 伺服驱动器构成。
Zθ用的 AC 伺服驱动器能用一个驱动器驱动 4 根轴。
FX-2 使用 6 个(各贴装头 4 个)驱动器｡
各电动机与驱动器之间的关系如图 13-6-1-1 所示。
4 轴一体型放大器的轴选择旋转开关如下表所示进行设定。
① L1θ轴 L1Z轴 L2θ轴 L2Z轴
② L3θ轴 L3Z轴 L4θ轴 L4Z轴
③ L5θ轴 L5Z轴 L6θ轴 L6Z轴
④ R1θ轴 R1Z轴 R2θ轴 R2Z轴
⑤ R3θ轴 R3Z轴 R4θ轴 R4Z轴
⑥ R5θ轴 R5Z轴 R6θ轴 R6Z轴
贴装头 L
贴装头 R
4 轴一体型放大器（40044535 支持 M/C Rev.I 以外）
4 轴一体型放大器（40155289 支持 M/C Rev.I）
①LZθ12
②LZθ34
③LZθ56
⑥RZθ56
⑤RZθ34
④RZθ12